판매용 중고 DISCO DFG 83H/6 #9069023
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DISCO DFG 83H/6은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 반도체 제조 재료 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. 광학 칩, 레이저, LED, 탐지기와 같은 광 통신 구성 요소를 완성할 수 있는 기능이 뛰어납니다. 기계는 인체 공학적으로 설계된 작업 표면이있는 암석 고체베이스를 가지고 있습니다. 이중 머리 연삭/연마 시스템이 장착되어 있습니다. 두 번째 바퀴가 조절 가능한 팔에 장착 된 반면, 한 바퀴는 베이스에 고정됩니다. 이 팔 은 "웨이퍼 '의 바깥쪽 가장자리 에서 갈기 를 하도록 조정 할 수 있다. 또한, 두 그라인딩 헤드는 빠른 샘플 준비 및 더 높은 웨이퍼 처리량을 가능하게하기 위해 빠른 변경 장치를 특징으로합니다. 랩핑 작업은 다이아몬드 페이스트 (diamond paste) 와 세라믹 본드 (ceramic bonded) 연마제 랩 (marrasive polishing laps) 을 사용하여 표면 마감 레벨을 달성하여 원하는 수준의 표면 마감을 달성합니다. 영구 자석 "플레이트 '를 사용 하여" 웨이퍼' 를 제자리 에 넣는다. "플레이트 '에는 또한 작업 구역 으로부터 액체 를 멀리 떨어뜨릴 수 있는" 채널' 의 기계 가 있다. 이 도구는 내장 (BIST) 광 프로파일 분석기 (Optical Profile Analyzer) 를 통해 연삭 또는 연마 후 웨이퍼의 지형을 측정 할 수 있습니다. 최종 처리 전후의 광학 전송 손실을 측정 할 수도 있습니다. 이 자산은 단일/양면, 평면/계단 연삭, 최대 직경 200mm 웨이퍼 연마 등 다양한 처리가 가능합니다. 파동의 재료와 원하는 결과에 따라 그라인딩 속도를 10 (10) 에서 1,000rpm (1,000rpm) 으로 설정할 수 있습니다. DISCO DFG 83H6에는 디지털 컨트롤, 가스, 공기 압력 제어, 고급 먼지 제거 모델 (높은 수준의 효율로 작동) 도 제공됩니다. 이 장비는 수작업 (manual operation) 에 소요되는 시간을 줄일 수 있도록 설계되었으며, 고급 기능 (advanced) 과 정확도를 통해 완성된 제품의 품질을 높였습니다.
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