판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #9279394

ULVAC MLX-3000N은 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 목표 중심의 인라인 스퍼터링 프로세스를 사용하여 기판에 정확하고 균일 한 필름을 배치합니다. MLX-3000N은 필름 두께와 화학량 측정법 (stoichiometry) 을 제어하고 필름 균일성과 재생성을 높일 수있는 정확한 이온 투여 기능을 제공합니다. 이 시스템은 0.01V 단위로 조절 가능한 4 개의 전원 공급 장치, 조정 가능한 펄스 주파수 및 100nA ~ 1mA 범위의 조정 가능한 이온 전류를 사용합니다. 이 장치에는 또한 작동하기 쉬운 소프트웨어 플랫폼 (software platform) 이 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 배치 요구에 맞게 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 스퍼터링 머신에는 360 ° 이중 목표, 4 열 챔버 및 0.004-2.8 Pa (30 mTorr-400 mTorr) 작동 온도가 최대 100 ° C입니다. 이 제품은 고화질 디지털 이미징 메커니즘과 첨단 비디오 처리 기술 (Advanced Video Processing Technology) 을 탑재하여 기판 표면에서 더 나은 시야를 제공합니다. ULVAC MLX-3000N은 반응/HI-ion 스퍼터링뿐만 아니라 DC 및 펄스 DC 스퍼터링을 모두 지원합니다. 또한 반응성이 높은 스퍼터 프로세스를 위해 아크 스퍼터링을 수행 할 수 있습니다. 이 도구는 자동 대상 제어, 동적 챔버 청소, 기판 난방 제어, 대상 보호, 소프트웨어 제어 타이밍, 자동 기판 홀더 장력 조정, 자동 챔버 유지 관리 등 다양한 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 MLX-3000N은 평면 패널 디스플레이, 박막 배터리, 센서, 광학 코팅 및 기타 다양한 전자 코팅 요구를 위해 질화물, 산화물, 금속 및 옥시 니트 라이드의 증착을 포함한 여러 응용 분야에 이상적입니다. 자산은 또한 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. ULVAC MLX-3000N의 공정 챔버 (process chamber) 및 백킹 자석 (backing magnet) 은 EM 간섭으로부터 보호하기 위해 자기적으로 차폐되며, 모델에는 안전한 작동을 보장하기 위해 다양한 안전 센서가 포함되어 있습니다. 또한 MLX-3000N 에는 진공 시스템 상태를 실시간으로 모니터링하고 표시하는 고급 진공 모니터링 (Advanced Vacuum Monitoring) 장비가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 처리 중 모든 문제 또는 잠재적 위험을 감지할 때 운영자에게 경고 (Alert) 하도록 설계된 일련의 자체 진단 (Self-Diagnostics) 을 구현합니다. 전반적으로 ULVAC MLX-3000N은 다양한 응용 프로그램에 대해 정확하고, 재현 가능하며, 균일 한 결과를 제공하는 훌륭한 스퍼터링 머신입니다. 사용하기 쉬운 인터페이스, 고품질 (High Quality) 기능, 안전성 기능을 갖춘 이 제품은 많은 증착 요구에 적합합니다.