판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #9273662

ULVAC MLX-3000N은 이중 마그네트론 스퍼터링 장비로, 반도체 및 광전자 장치 제조에서 박막 증착에 사용됩니다. 다양한 기판에 금속, 산화물, 질화물 및 합금 필름을 증착 할 수있는 고속, 디지털 제어 하이브리드 스퍼터링 시스템을 제공합니다. MLX-3000N에는 두 가지 대상 소스 (고출력, DC 마그네트론 스퍼터링 소스 및 중출력, RF 스퍼터링 건) 가 장착되어 있습니다. 각 소스는 독립적으로 작동 할 수 있으므로 다양한 증착 방법을 사용할 수 있습니다. 고급 필름 두께 모니터 (Advanced Film Thickness Monitor) 가 포함되어 스퍼터링 과정에서 정확한 두께 측정이 가능합니다. 또한 ULVAC MLX-3000N은 고속 웨이퍼 셔틀을 갖추고 있어 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 빠르게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이 장치는 매우 유연한 소스 구성 (source configuration) 을 통해 다양한 대상 재료 및 기판 크기를 사용할 수 있습니다. DC 마그네트론 소스는 우수한 증착률과 좋은 필름 품질을 제공합니다. 그것 은 전극 "에너지 '를 공급 하여" 필름' 증착 을 매우 정밀 하게 조절 할 수 있게 하고, 증착실 의 산소 속도 를 정밀 히 조절 할 수 있게 해 준다. 또한, RF 스퍼터링 건은 소형 및/또는 두꺼운 필름의 증착을 위해 설계되었습니다. MLX-3000N은 필름 증착 외에도 에치, 불순물 판독, 청소, 표면 수동화 및 기타 표면 처리를 포함한 광범위한 플라즈마 프로세스를 제공합니다. 기계에는 고급 에치 컨트롤러 (Advanced Etch Controller) 가 장착되어 있어 모든 유형의 재료의 고품질, 정밀 에칭이 가능합니다. 또한 LED 및 OLED 장치 제작과 같은 사진 유도 프로세스에 사용할 수 있습니다. 전체 ULVAC MLX-3000N은 비용 효율적인 고속 하이브리드 스퍼터링 툴로, 반도체 및 광전자 장치 제조에 이상적입니다. 이 제품은 고속, 다목적 증착을 제공하며, 제조업체에게는 최적의 균일성과 품질을 갖춘 박막 (thin film) 레이어를 생산할 수 있습니다. 또한, 종합적인 플라즈마 (Plasma) 처리 기능을 통해 자산을 광범위한 애플리케이션에 적합합니다.