판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #9273657

ULVAC MLX-3000N은 유명한 일본 진공 장비 제조업체 인 ULVAC에서 설계 및 제조 한 저진공 스퍼터링 장비입니다. MLX-3000N은 재료 치료를위한 올인원 플랫폼입니다. 0.1 ~ 5.0 mbar 범위의 작동 압력이있는 단일 챔버, 저 진공 스퍼터링 시스템입니다. 물질의 물리적 증착, 산화, 질화, 어닐링, 다층 나노 컴포지트 필름 증착 등 다양한 응용 및 프로세스에 사용할 수 있습니다. ULVAC MLX-3000N에는 직접 구동 펌프가 장착 된 폐쇄 형 진공 챔버 (closed type vacuum chamber) 가 장착되어 있어 대기 압력에서 필요한 작업 압력으로 빠르게 대피 할 수 있습니다. 또한 고전압 장치, 부분 활성 SCR 및 수동 척 장치 (manual chucking unit) 및 잔류 가스 분석 머신이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 증착 과정 을 정밀 히 제어 할 수 있으므로, 항상 훌륭 한 결과 를 얻을 수 있습니다. MLX-3000N에는 ULVAC 고유의 수동 처킹 (manual chucking) 도구가 장착되어 있어 다양한 크기의 기판, 모양, 재료를 처리할 수 있습니다. 한 번에 최대 4 개의 기판을 처리 할 수 있으며, 많은 양의 샘플을 처리할 수 있습니다. ULVAC MLX-3000N에는 ARC (반사 방지 코팅) 옵션이 장착되어 있습니다. 이를 통해 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 표적으로부터 열 소산 및 역반사 (back-reflection) 를 방지하고 균일 한 필름에 대해 일관된 필름 두께를 보장합니다. MLX-3000N에는 ULVAC 현장 모니터링 기능도 포함되어 있어 온도, 증착률, 두께 등을 모니터링 할 수 있습니다. 또한 고급 닫힌 루프 피드백 제어 (closed-loop feedback control) 자산이 제공되어 정확하고 안정적인 프로세스 제어를 보장합니다. 전반적으로 ULVAC MLX-3000N은 재료 처리 응용 분야에 적합한 선택입니다. 단일 챔버 디자인과 다양한 기능을 통해 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 수동 처킹 (chucking) 모델, 현장 모니터링 (in-situ monitoring) 및 고급 클로즈드 루프 (closed-loop) 피드백 제어 기능을 통해 고품질 결과를 필요로 하는 고객에게 이상적인 장비가 됩니다.