판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #9236603

ULVAC MLX-3000N은 고급 박막 증착 기술 솔루션 제공 업체 인 ULVAC에서 개발, 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 정밀 박막 증착 프로세스를 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 금속, 반도체 및 유전체의 동시 증착을위한 여러 스퍼터링 소스 (최대 4 개의 목표) 가 장착되어 있습니다. 조리대 원통형 표적과 회전 셔터를 갖춘 닫힌 자기장 플라즈마 스퍼터링 챔버 (Plastering Chamber) 가 있으며, 면적이 균일합니다. 이렇게 하면, 유효 영역 으로 인하여 그림자 없이, 기판 표면 전체 에 박막 을 증착 할 수 있다. 이 제품은 멀티 존 (multi-zone) 스퍼터링 구성을 자랑하며, 대규모 기판에서 여러 레이어를 동시에 증착할 수 있습니다. 고효율 스펙트럼 스캐닝 제어기 (Spectrum Scanning Control Machine) 는 정밀도 및 정확도로 미세 패턴을 증착 할 수 있습니다. 또한 내장 광학 방출 분광법 (Optical Emission Spectroscopy) 기능을 통해 프로세스 매개 변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 대용량 진공 펌핑 도구는 공정 중에 낮은 주파수 진동 및 균일 한 질량 분포를 보장합니다. 자산은 자동화 된 프로세스 제어 모델 (process control model) 로 인해 기판을 변경하지 않고 균일성 (uniformity) 으로 고속 증착이 가능합니다. MLX-3000N (Industrial Grade Sputtering) 장비는 코팅 증착 공정에서 효율성과 균일성에 대한 최고의 표준을 충족하도록 설계된 산업용 스퍼터링 장비입니다. 뛰어난 품질의 금속 코팅을 제공하는 크로메이트 메탈라이저 (chromate metalizer) 를 포함하여 다양한 옵션 기능을 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 자동차, 항공 우주, 군사, 의료 및 소비자 응용 프로그램과 같은 PVD 응용 프로그램에 적합합니다. ULVAC MLX-3000N은 저렴하고 작동이 쉬운 스퍼터링 유닛으로, 산업 분야에서 최첨단 박막 증착에 적합합니다. 뛰어난 결과와 높은 수율로 안정적이고, 정확하며, 균일한 코팅 솔루션을 제공합니다.