판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #9156850

ULVAC MLX-3000N은 다양한 용도로 고품질의 박막 (thin film) 을 생산할 수 있는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 6 각형 주 챔버, 측면 챔버 및 하단 챔버 (bottom chamber) 가있는 다중 챔버 구조로 최대 유연성을 제공합니다. 원형 및 직사각형 음극, 이중 마그네트론 소스, 불균형 마그네트론 소스 등 다양한 스퍼터링 소스를 제공합니다. 고급 온보드 ICRF 전원 공급 장치, 다중 플라즈마 모니터링 옵션, 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어 등의 고급 기능을 사용합니다. MLX-3000N은 조절 가능한 증착율, 이온 폭격 강도, 너비 제어 (width control) 를 갖춘 완전 프로그래밍 가능한 유닛으로, 정밀한 압력 조절과 뛰어난 필름 품질을 제공합니다. 이 기계에는 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 광학 방출 분광계도 포함되어 있습니다. ULVAC MLX-3000N은 금속, 유전체, 산화물 및 질화물을 포함한 다양한 얇은 필름을 생성 할 수 있습니다. 이 도구는 저압 (low-pressure) 과 고압 (high-pressure) 반응성 스퍼터링 프로세스를 모두 처리하여 광범위한 응용 프로그램을 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 ULVAC EXA900 시리즈 PVD 증착 시스템 (PVD Deposition System) 과도 완벽하게 호환되므로 자산을 자산으로 신속하게 전송할 수 있습니다. 통합 어닐링 스테이션 (Integrated Annealing Station) 은 매우 얇은 금속 필름을 증착 할 수있는 반면, 냉각 구성 요소는 필름 균일성을 유지하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, MLX-3000N 은 다양한 소프트웨어 패키지를 사용하므로 단일 인터페이스에서 전체 모델을 제어할 수 있습니다. 소프트웨어는 ULVAC ICRF 전원 공급 장치와 완벽하게 호환되며 GLASS 프로그램의 사용으로 인해 복잡한 프로세스의 개발 및 시운전 시간이 빨라집니다. 또한 ULVAC Sputter Process Monitor (SPM) 소프트웨어는 프로세스 안정성을 극대화하기 위해 전체 증설 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 결국, ULVAC MLX-3000N 은 고성능 스퍼터링 (sputtering) 장비로, 다양한 애플리케이션에 필요한 요구 사항을 충족하는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 시스템의 멀티 챔버 구성, 고급 온보드 기능, 프로그래밍성, 소프트웨어 호환성을 통해 고정밀 박막 증착에 이상적인 선택이 가능합니다.