판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #293796096

ULVAC MLX-3000N 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 박막의 정밀 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 증착 시스템입니다. 다양한 산업, 과학, 반도체 관련 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. MLX-3000N은 고출력 마그네트론 소스 기술 (magnetron source technology) 을 활용하여 대용량 기판에 다양한 재료의 고품질 박막을 생산합니다. 이 장치는 전자 빔 보조 스퍼터링 기술을 통해 매우 낮은 온도 강착을 제공하도록 설계되었습니다. ULVAC MLX-3000N은 초고효율 진공실, 고효율 마그네트론 전원, 원격 제어 동작 등 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 초고진공 챔버 (ultra-high vacuum chamber) 는 높은 증착률을 보장하기 위해 깨끗한 진공 환경을 만드는 반면, 정밀 제어 기능을 갖춘 고효율 마그네트론 (magnetron) 전원은 작은 기판에서도 뛰어난 필름 균일성을 가능하게합니다. 또한 원격 제어 작업을 통해 효율적이고 편리한 스퍼터 증착이 가능합니다. MLX-3000N의 매우 큰 크기 챔버를 사용하면 구리, 알루미늄, 텅스텐, 실리콘, 크롬 및 기타 금속 및 복잡한 재료를 포함한 다양한 응용 분야를 사용할 수 있습니다. 그것 은 "사파이어 '와 유리 기판 의" 스퍼터링' 과 소면적 증착 에 사용 될 수 있다. 이 기계는 또한 ITO 레이어 및 SiO2 레이어를 포함한 다중 레이어 프로세스를 수행 할 수 있습니다. ULVAC MLX-3000N은 탁월한 프로세스 제어 및 필름 균일성을 제공하는데, 이는 완전히 자동화 된 도구에 기인합니다. 통합 된 PCS (Process Control Software) 를 통해, 자산은 우수한 프로세스 제어를 보장하고 장기간에 걸쳐 정확성을 유지합니다. PCS는 또한 그라디언트 및 오프 축 스퍼터링과 같은 더 복잡한 프로세스를 가능하게합니다. MLX-3000N은 모든 재료에 고품질 필름을 배치하는 데 매우 경제적인 솔루션입니다. 이 스퍼터링 (Sputtering) 모델은 내구성, 안정성, 에너지 효율성을 갖추고 있어 광범위한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.