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ROTH & RAU SiNA #9130707

ROTH & RAU

SiNA

PECVD System, 6" Material: Poly Silicon Process: Ammonia & Silane gas Ammonia gas panel and fume scr
130
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ROTH & RAU SiNA #186034

ROTH & RAU

SiNA

PECVD coating system Throughput: 2400 wafers/hour.
168
ROTH & RAU SiNA #9101319

ROTH & RAU

SiNA

PECVD System, 2008 vintage.
87