판매용 중고 ROTH & RAU SiNA #9101319

ROTH & RAU SiNA
ID: 9101319
빈티지: 2008
PECVD System, 2008 vintage.
ROTH&RAU SiNA는 태양 광 발전 (PV) 셀의 효율적인 생산을 가능하게하도록 설계된 태양 광 생산 장비입니다. 이 장비는 경쟁 제품 장비에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. 즉, 더 빠른 주기, 유지 보수 비용 절감 등이 있습니다. SiNA는 업그레이드 가능한 구리 모듈러 베이스 테이블을 사용하며, 최대 6 인치, 최대 410 파운드 크기의 태양 유리 기판을 지원할 수 있습니다. 2 개의 로봇 암은 자동 픽 앤 플레이스 (pick and place) 프로세스를 사용하여 기본 테이블과 증착 플랫폼 사이의 빠른 기판 전송을 가능하게하며, 총 주기 시간은 4.4 초입니다. 두 번째 로보틱 암 (robotic arm) 은 기판의 컨투어를 만들고 고객의 특정한 요구에 따라 다양한 증착층을 배치하는 역할을 합니다. ROTH 및 RAU SiNA는 여러 가지 구성 요소로 구성됩니다. 여기에는 기판로드 스테이션, 베이스 테이블, 증착 플랫폼, 레이저 및 로봇 캐리어 시스템이 포함됩니다. 기판 로딩 스테이션은 부하당 70 기판 용량의 진공 기반 로더를 사용합니다. 이 설계를 통해 기판을 빠르고 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 베이스 테이블에는 유리 기판을 안전하게 고정하기 위해 여러 개의 비품이 장착되어 있습니다. 증착 플랫폼에는 2 개의 스퍼터링 증착원과 몇 개의 지멘스 (Siemens) 의 Hi-K 스핀 코터가 포함되어 있으며, 이를 함께 사용하여 박막 태양 전지의 기능 층을 형성 할 수 있습니다. 레이저는 크랙 밀봉 (crack sealing), 접촉 형성 (contact formation) 및 경량 유도 에치 프로세스 (etch process) 와 같은 다양한 다른 작업뿐만 아니라 전기 경로를 형성 할 수 있습니다. 로봇 캐리어 시스템은 2 개의 로봇 암을 사용하여 기본 테이블 (base table) 과 증착 플랫폼 (deposition platform) 간에 기판을 빠르고 정확하게 전송할 수 있습니다. 요약하면, SiNA는 고객에게 고효율 태양 전지 생산을 제공하기 위해 설계된 최첨단 태양 광 생산 장비입니다. 이 장비는 빠른 주기 (Fast Cycle), 운영 자동화, 유지 보수 비용 절감 등 경쟁사 시스템에 비해 많은 이점을 제공합니다. 진공 기반 기판 로더, 멀티 존 (multi-zone) Hi-K 코터와 같은 혁신적인 기술을 사용하여, 고객은 시간과 비용의 일부에 따라 양질의 태양 전지를 수신할 수 있습니다.
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