판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #293608318

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제조사
VEECO / EMCORE
모델
K465i
ID: 293608318
MOCVD Systems Type: GaN.
VEECO/EMCORE K465i Reactor는 광전자 재료 생산에 사용하도록 설계된 다중 코팅, 고출력 광 에피 택시 성장 장비입니다. 이 시스템은 반도체 기술 업계에서 세계적으로 유명한 두 명의 혁신가 (innovator) 간의 성공적인 파트너십의 결과입니다. 최대 1625 ° C 작동이 가능한 가열식 세라믹 서셉터와 대형 스테인리스 (stainless) 스틸 반응 챔버를 갖춘 VEECO K465i는 다양한 생산 프로세스에 적합합니다. 이 장치는 GaAs, InP 및 AlGaAs와 같은 여러 기판을 처리 할 수 있으며, MBE 및 MOCVD 프로세스 모두에 대해 다용도, 균질 한 증착 환경을 제공합니다. 또한 내부 가스 흐름 제어, 웨이퍼 위치 센서, 자동 온 머신 클리닝 (on-machine cleaning) 및 핫 월 구조 (hot-wall structure) 를 포함하여 빠르고 정확한 에피 택셜 성장을 촉진하도록 설계된 여러 가지 특수 기능을 자랑합니다. EMCORE K465i 는 고유한 듀얼 스테이지 리프트를 포함하는 고급 모션 머신 (advanced motion machine) 에서 지원되며, 이를 통해 서셉터의 2축 또는 3축 이동이 가능하며 스테퍼 모터가 있는 in-situ 패턴화가 가능합니다. 또한, 이온 이식 (ion implantation) 은 통합 이온 소스 유닛 (integrated ion source unit) 을 통해 달성 될 수있다. K465i (K465i) 는 또한 강력한 제어 소프트웨어 제품군을 제공하므로, 사용자가 원자로의 챔버 조건, 프로세스, 레시피 등을 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 원자로 챔버 (reactor chamber) 및 웨이퍼 (wafer) 조건을 실시간으로 모니터링할 수있는 고급 신호 분석 도구 세트가 포함되어 있습니다. 전반적으로 VEECO/EMCORE K465i Reactor 는 고성능의 시장용 Optic 을 찾는 고객에게 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 강력한 안전 (Safety) 및 신뢰성 프로파일 (Deposition Parameter) 을 사용자 정의하기 위한 다양한 옵션과 함께, 이 도구는 다양한 광전자 재료 및 컴포넌트를 생산하는 데 이상적입니다.
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