판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #293587351

VEECO/EMCORE K465i는 반도체 제조 과정에서 사용되는 고온 단일 웨이퍼 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 최대 100nm 필름 두께의 뛰어난 스텝 커버리지로 SiON (silicon oxynitride) 및 SiN (silicon nitride) 의 건강하고 균일 한 두께 필름을 증착 할 수 있습니다. VEECO K465i의 반복 가능한 증착 성능은 모든 응용 프로그램에 대해 우수한 고열 전도성, 광학 또는 기계적 특성을 보장합니다. 원자로는 NH3 및 SiH4와 같은 반응성 가스를 증착에 사용할 수 있습니다. 높은 처리량을 제공하도록 설계되어, 빠르고 반복 가능한 온도 경사 속도로 전체 웨이퍼 (wafer) 에 균일 한 필름 구성을 보장합니다. 총 처리량은 일반적으로 50W-150W 사이이며 지속 온도는 최대 1000 ° C입니다. EMCORE K465i 는 증착 제어를 위해 정확하고 정확한 온도 램프를 적용합니다. 그것은 히터 요소의 정확한 시퀀싱, 챔버 압력, 반응성 가스의 유속 (flow rate) 을 제어함으로써 수행된다. 공정 가스의 두 가지 소스를 사용합니다. 하나는 건조 질소 건조 가스 원 (dry nitrogen dry-gas source) 으로, 극저온 펌프에 의해 가스를 빠르게 식히고 안정적인 챔버 온도를 유지하는 데 사용됩니다. 두 번째는 H2, N2 및 NH3을 포함한 반응 가스와 SiH4와 같은 촉매 가스를 공급합니다. 두 "가스 '의 비율 을 조절 함 으로써, 정밀 한 물질 증착 률 과 균일성 을 얻을 수 있다. K465i에는 세라믹 기판 패들, 즉시 기판 온도를 측정하는 피로미터, 기계적 척 진동, 엔드 포인트 인식을위한 환경 센서 (environmental sensor) 와 같은 몇 가지 주요 표준 기능이 포함되어 있습니다. 모든 구성 요소는 구성 시설에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. VEECO/EMCORE K465i 는 증착 과정에서 정확하고 균일성을 제공합니다. 정확하고 정확한 온도 경사 속도와 우수한 단계 범위의 높은 처리량을 제공합니다. 쉽게 통합, 세라믹 기판 패들, 피로미터, 기계식 척 진동 및 환경 센서와 같은 기능을 갖춘 VEECO K465i는 반도체 제작 공정에서 실리콘 질화물 및 실리콘 옥시 니트 라이드 필름의 효율적이고 안정적인 증착을 제공합니다.