판매용 중고 VEECO / EMCORE K465i #9274047
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ID: 9274047
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2010
MOCVD Reactor, 6"
Upgraded from K465
Process: GaN
LED Application
(2) SiH4 Gases
NH3, H2, N2, TMGa, TEGa, Cp2Mg, TMAl, SiH4, TMIn
Control PC:
No hard drive
No operating system
In situ monitoring:
RealTemp200
No harddrive
No operating system
Wafercarrier robot handling
Standard integrated VEECO VAC-Glovebo
ESA25D Vacuum Pump
ACP28 DOR Pump
ACP28 Glovebox pump
Water cooled up to 6 pcs
Up to 2 pcs for TMI
Standard veeco reactor
Flow flange generation
MO Dopant lines
No HDD
No scrubber
No exhaust heater
2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465i는 박막 반도체를 만드는 데 사용되는 원자로입니다. VEECO Instruments와 EMCORE Corporation이 마이크로 일렉트로닉스 및 광전자 제조를위한 차세대 도구로 개발했습니다. VEECO K465i는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 및 무선 주파수 (RF) 전력을 사용하여 다양한 기판에 박막을 입금하는 단일 챔버, 하이브리드 버전 원자로입니다. 실리콘 기반 화합물에서 이국적인 금속 절연체 화합물에 이르기까지 다양한 물질 유형을 증착 할 수있는 매우 다재다능한 도구 (versitile tool) 입니다. EMCORE K465i 는 기판 크기, 공정 온도, 압력 체계, 가스 혼합물, RF 및 ICP 의 다양한 조합을 수용하도록 쉽게 프로그래밍할 수 있는 완전 자동 시스템입니다. 이 시스템은 또한 압력, 온도, RF, ICP 전력 및 가스 흐름과 같은 프로세스 매개변수의 현장 모니터링을 허용합니다. K465i 원자로는 공정 챔버 (process chamber) 와 가스 박스 (gas box) 를 포함한 여러 가지 구성 요소를 결합합니다. 공정 챔버에는 서셉터 (susceptor) 가 포함되어 있습니다. 서셉터 (susceptor) 는 증착 과정 중 기질과 RF 코일 및 공정 가스를 지원하는 데 사용됩니다. 가스 상자에는 가스 공급 장치와 다양한 밸브 및 밸브 컨트롤러가 있습니다. VEECO/EMCORE K465i 의 모듈식 구성은 VEECO/EMCORE 를 통해 Optoelectronic 디바이스 같은 저가형 제품에서 대용량, 저가형 전자 제품까지 다양한 생산 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다. VEECO K465i 의 다른 장점으로는 광범위한 프로세스 통합 옵션, 빠르고 간편한 도구 변경, 프로세스 제어 및 안정성 향상, 생산량 향상 등이 있습니다. 전반적으로 EMCORE K465i 는 박막 반도체 생산을 위한 혁신적이고 강력한 툴입니다. 견고하고, 안정적이며, 사용이 간편하며, 다양한 구성 및 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 다양한 운영 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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