판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9290142

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V 포토 esist 장비는 반도체 제작 및 관련 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능, 고밀도 웨이퍼 처리 도구입니다. 독특한 자동차 등급 디자인이 특징이며, 안정적이고 견고합니다. TEL 마크 V (TEL Mark V) 는 포토 esist 코팅의 온도 및 증착 매개 변수를 정확하게 제어하여 일관성 있고 고품질 결과와 함께 부드러운 증착을 가능하게하는 것으로 유명합니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 spin-on-glass 코팅, 리소그래피 및 etch 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 습식 모듈, 계량 장치, 포토 esist 소스, 전기 접촉 장치, 열 스테이션 및 제어 장치 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. 습식 모듈에는 공정 챔버 (process chamber) 가 있으며, 이중 변조 웨이퍼 하우징 (dual modulating wafer housing) 과 웨이퍼 사전 식용을위한 가열 된 워터 욕조가 장착되어 있습니다. 이것은 균일 한 습식 에칭과 뛰어난 온도 조절을 보장합니다. 계량 장치 (Metering Unit) 는 포토리스 소스에 정확한 양의 재료를 공급하여 정확하고 일관된 웨이퍼 코팅을 가능하게한다. 포토 esist 소스는 웨이퍼에서 포토 esist의 고속, 정밀, 균일 한 증착을 생성 할 수있는 진공 단위입니다. 전기 접점 장치 (Electrical Contact Unit) 는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 외부의 도구에서 전기적 연결을 허용하여, 정확한 프로세스 제어를 위해 항상 모니터링할 수 있도록 합니다. 열 스테이션 (thermal station) 은 공정 챔버의 온도를 조절하여 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 마지막으로, 제어 장치 (Control Unit) 는 전체 프로세스 자동화를 가능하게 하여 사용자가 제어 장치 (Control Unit) 에서 원격으로 프로세스를 관찰하고 제어할 수 있도록 합니다. MARK-V는 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리를 지원하는 고급 기계입니다. 안정적이고 일관되게 작동하도록 설계되었으며, 뛰어난 해상도, 정확도, 반복성, 결과를 제공합니다. 이를 통해 프로세싱 요구를 충족하기 위해 안정적이고 효율적인 포토레시스트 (photoresist) 도구를 찾는 모든 기업에 적합한 선택이 됩니다.