판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9265517

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment는 고급 반도체 장치 처리를 위해 특별히 설계된 고성능 시스템입니다. 현재의 고급 반도체 기술의 정확한 요구 사항을 충족할 수 있는 탁월한 성능과 유연성을 제공하는 턴키 (Turn-Key) 포토레지스트 (Photoresist) 장치입니다. TEL Mark V Machine은 이중 패턴, 3D 집적 회로, 광학 침수 리소그래피 등 고급 프로세스의 과제를 충족하도록 설계된 혁신적인 하드웨어를 자랑합니다. 이 도구에는 회전식 웨이퍼 홀더, 웨이퍼 레벨 링 시스템, 웨이퍼 회전 시스템, 고급 전자 빔 시스템, 고급 조명 광학, 고정밀 레이저 간섭계 제어 Z축 조정기, 웨이퍼 전송 자산, 웨이퍼 스테이징 캐러셀, 고속 레시피 프로그래밍 등이 포함됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-V Model 의 탁월한 성능과 유연성을 통해 사용자는 반복 가능한 결과를 통해 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리할 수 있습니다. 유연한 소프트웨어 아키텍처를 통해 맞춤형 레시피 개발 및 신속한 웨이퍼 전환이 가능합니다. 이 장비에는 고급 웨이퍼 전송 시스템 (Wafer Transport System) 과 고속 레시피 프로그래밍이 장착되어 있어 빠르고 정확한 웨이퍼 포지셔닝이 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V Unit에는 고급 조명 광학도 포함되어 있으며, 리소그래피 프로세스에 최적화되어 이미징 충실도 및 반복성이 향상됩니다. 고급 전자 빔 시스템은 처리량과 균일성이 높은 중소형 임계층 (SMB) 의 고대비 이미징을 제공합니다. 웨이퍼 레벨링 머신 (wafer leveling machine) 은 처리 중에 정확한 웨이퍼 배치를 보장하므로 최적의 이미지 품질 및 모니터 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mark V Tool의 유연성을 통해 복잡한 기술 요구 사항을 신속하게 처리할 수 있습니다. 이 제품은 매우 정확한 성능과 빠른 와퍼 (wafer) 선행 시간을 결합한 반면, 새로운 기술을 통합하는 데 탁월한 유연성을 제공합니다. 이 자산은 하이엔드 반도체 (semiconductor) 프로세싱 요구 사항을 충족하는 강력하고 안정적인 솔루션을 찾는 장치 제조업체에 적합합니다.