판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250081

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 다양한 고정밀 및 고속 필름 처리 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치, 광학 디스크, 인쇄 회로 기판 (printed circuit board) 의 생산에 사용하기 위해 특별히 설계되었습니다. TCO (총소유비용) 를 낮춘 고속, 고해상도 3차원 필름 프로세싱 워크플로우를 제공합니다. TEL Mark V에는 산업 등급 드라이버와 고해상도 이미징 렌즈가 장착 된 SLES (Scanning Laser Exposure Unit) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 X 축과 Y 축 모두에서 초점을 바꿀 수 있으므로 크고 복잡한 패턴을 효율적으로 이미지 생성 (image generation) 할 수 있습니다. 또한 자동 보정기 (auto-corrector) 기술을 통해 노출을 최적화하는 레이저 전력 안정성의 정확성을 높입니다. 사용자 정의 해상도 설정 (인치당 0.5 ~ 900 줄) 을 제공하여 광학적인 정확도를 높입니다. TOKYO ELECTRON MARK-V에는 FMDS (Film Measurement and Developing Tool) 도 장착되어 있습니다. 이 자산에는 양수 (positive) 와 음수 (negative photoresist) 를 동시에 측정하고 개발할 수있는 여러 처리 부서가 있습니다. 부드러운 서피스, 에칭 서피스, 거친 서피스 등 다양한 서피스 유형을 지원할 수 있습니다. 또한 SiO2, Quartz, 실리콘 웨이퍼 및 기타 기판을 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 정밀도 정렬과 함께 고정밀 필름 두께를 측정하여 가장 높은 fiducial 정확도를 제공합니다. Mark V 는 고급 데이터 관리 기능과 포토레지스트 (photoresist) 프로세스에 대한 오류 확인 기능을 제공합니다. 이 장비는 안전한 데이터 전송 (Secure Data Transfer) 과 정확한 결과를 통해 안정적이고 쉽게 제어할 수 있는 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 가상 네트워크 통신 프로토콜을 지원하여 데이터 센터 및 제어실을 손쉽게 액세스할 수 있습니다 (영문). 또한, 빠르고 안정적인 데이터 전송을 보장하는 고속 데이터 전송 시스템을 갖추고 있습니다. TEL MARK-V는 오늘날 까다로운 반도체 장치, 광학 디스크 및 인쇄 회로 기판 생산 환경을 위해 설계되었습니다. TCO (총소유비용) 를 낮추면서도 높은 정밀도, 고속, 신뢰성 있는 필름 처리 장치를 제공합니다. SLES, FMDS, 데이터 관리 기능을 함께 사용하면 모든 운영 환경에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.