판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9241680
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판매
ID: 9241680
웨이퍼 크기: 6"
(2) Developer system, 6"
TC Rack / Chemical cabinet
WEE Configuration
(2) COL
4HP.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V (TEL/TEMV) 는 반도체 장치 생산 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 고급 반도체 장치의 포스트웨퍼 (post-wafer) 제작을 위한 다목적, 고출력 도구입니다. TOKYO ELECTRON/TEMV 시스템은 고유한 직접 쓰기, 반자동 작동을 통해 정확하고 반복 가능한 처리 효과를 제공합니다. 정확도가 높은 레이저 쓰기 헤드, 강력한 등록 플랫폼, 고효율 미니 스캔 장치가 장착되어 있습니다. 이러한 발전은 TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV가 우수하고 매우 정확한 포토 esist 패턴을 생성하도록 보장합니다. TEL/TEMV 기계의 주요 용도는 평면 패널 디스플레이에 사용되는 박막 트랜지스터 (TFT) 처리에 사용됩니다. TFT는 표시된 이미지의 전압 및 전류를 제어하고, 화면에 선명한 HD 이미지를 제공합니다. TOKYO ELECTRON/TEMV (TOKYO ELECTRON/TEMV) 를 사용하여 TFT 장치에서 금속 필름 또는 산화물 재료 제작에 필요한 주요 단계는 높은 정확도와 빠른 속도로 실행됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV 도구는 일부 고급 집적 회로 (IC) 프로세스에도 적용됩니다. 여기에는 트렌치 구조와 3D 트랜지스터 (transistor) 의 형성과 전도 레이어 패턴 프로세스가 포함됩니다. 이를 통해 더 높은 회로 속도, 높은 해상도, 더 나은 전체 성능을 얻을 수 있으며, photoresist 패턴화 프로세스에서 여전히 뛰어난 수준의 정밀도와 일관성을 달성할 수 있습니다. TEL/TEMV 에셋은 다양한 재료 및 프로파일과 호환되는 photoresist 패턴을 생성합니다. 여기에는 폴리머, 전도성 기판 및 단일 웨이퍼 구조가 포함됩니다. 광범위한 자재 호환성 및 무중단 운영을 통해 처리량 향상, 비용 절감, 일관성 있는 패턴화 (patterning) 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON/TEMV 모델은 매우 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 이 제품은 다양한 자동 제어 (Automatic Control) 기능을 사용하여 다양한 하위 프로세스와 재료를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 장비에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 시스템 및 프로세스 매개변수를 쉽게 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV는 반도체 생산 프로세스에 적합한 도구로서, 탁월한 정확도, 처리량 및 반복성을 제공합니다. 또한 고급 기능 (AdvancedFeatures) 은 최적의 성능을 제공하여 다양한 반도체 응용 프로그램을 위해 안정적이고 정밀한 photoresist 패턴을 제공합니다.
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