판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226378

텔/도쿄 일렉트로닉 마크 V (TEL/TOKYO ELECTRON Mark V) 는 반도체 기판에서 복잡한 패턴을 에치하는 데 사용되는 고정밀 포토 esist 장비입니다. 고정밀 고속 필름 개발을 제공하는 단일 파장 포토레스 시스템입니다. TEL Mark V는 CCOS (Computer Controlled Optical Unit) 및 GEPT (Gas-phase Exposure Tool) 를 사용하여 에칭 및 패턴화 프로세스를 단순화합니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 뛰어난 해상도와 기능의 균일성과 고속 필름 개발을 제공합니다. 실시간 노출 위치 보정을 제공하는 고급 PAS (Pattern Alignment Machine) 가 장착되어 있어, 정밀도가 높은 기판에 패턴을 배치할 수 있습니다. 또한, 개발 도구는 고속, 정확하며, 높은 처리량 전동 레이저 기반 저항 정렬 및 균일 한 노출이 있습니다. 마크 V (Mark V) 는 다양한 노출 된 산화 필름 및 블로우 홀 (blowhole) 을 제공하여 매우 얇은 선과 단단히 형성된 기능을 사용하여 더 큰 설계 유연성과 향상된 회로 성능을 제공합니다. 또한 우수한 패턴화 결과를 위해 고급 LER (line edge roughness) 감소 자산을 제공합니다. 화학적 전구체 제어 메커니즘과 저항 매개변수의 미세 튜닝 (fine-tuning) 을 통해 TEL MARK-V는 단단한 피치와 작은 피쳐 크기로 고성능 패턴을 보장합니다. 고급 기능 덕분에, MARK-V 모델은 매우 복잡하고 복잡한 Resist 애플리케이션에 적합합니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 메모리 칩 제조 (memory chip) 와 같이 빠르고, 정확하고, 정확한 에칭 솔루션이 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 고속 필름 개발, 최적 패턴 정렬 기능, 고급 LER 감소 (Advanced LER Reduction) 장비는 정밀 패턴화가 필요할 때 안정적이고 효율적인 선택이 가능합니다.