판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226377

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 고급 나노 분류 및 장치 제작을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 단일 레이저 (Single Laser) 를 사용하여 다양한 패턴을 다른 기판으로 전송하는 정교한 스캐닝 (scanning) 구성을 기반으로 합니다. 레이저 빔은 렌즈, 이색적 거울 및 기타 요소를 통해 향하며, 100 nm 이하의 해상도로 넓은 영역 패턴 작성 및 에칭을 허용합니다. 정교한 스캐닝 장치 (scanning unit) 와 정확하게 교정 된 현장 보정기는 빠른 패턴 전송 시간과 높은 정밀도를 가능하게합니다. TEL Mark V 포토 esist 머신에는 고급 제어 기능이 장착되어 초고해상도 패턴화를 제공합니다. 이미지 안정화 기술을 갖춘 빠르고 정확한 광학 도구 (optical tool) 는 고급 마이크로프로세서 컨트롤러와 연동하여 빔 위치용 스테퍼 모터를 직접 구동합니다. 이 제어 기능은 기존 시스템에 비해 향상된 속도와 정확성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 자산은 탁월한 필름 선택성을 제공하며, 하위 아이콘 기능 해상도에 높은 배율과 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. 광학 모델은 가장 어려운 에칭 프로세스 중에도 고해상도를 제공합니다. 가변 빔 크기 (variable beam size) 와 전력 수준 (power level) 을 통해 노출 및 에칭 시간을 정확하게 제어하여 복잡한 구조를 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mark V에는 총 장비 제어에 대한 중요한 고급 기능도 포함되어 있습니다. 개방형 아키텍처는 기존 시스템과의 통합을 지원하므로, 모든 프로세스 매개변수를 유연하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 에치 패턴을 시뮬레이트하기위한 소프트웨어 도구가 내장되어 있습니다. 또한 스캔 속도 (scan rate) 또는 기판 서피스 (substrate surface) 의 변화에 따라 노출을 자동으로 조정할 수 있습니다. TEL MARK-V는 밀폐 된 스캔 챔버, 보호 필름 및 질소 퍼지 시스템을 포함한 통합 안전 기능을 갖추고 있습니다. 자동화되고 사용이 간편한 '운영' 을 통해 저렴한 조사/개발 환경에서도 사용할 수 있습니다. 고급 기능을 갖춘 Mark V 는 고해상도 나노 스케일 (nano-scale) 기능을 생산하는 데 필요한 유연성과 정확성을 제공합니다.