판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226376

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 장치에서 매우 정밀하고 균일 한 기능을 생산하도록 설계된 포토 esist 단일 웨이퍼 제조 장비입니다. "웨이퍼 '표면 을 특수 광원 (예:" 레이저') 의 빛 패턴 에 노출 시킴 으로써 "시스템 '이 작용 한다. 이 광원 패턴 (pattern of light) 은 웨이퍼의 photoresist 레이어에 잠상을 생성하며, 이어서 리소그래피 동안 미세 구조를 생성하는 데 사용됩니다. TEL Mark V 장치는 노출 프로세스에 대한 정확한 제어를 제공하여 향상된 웨이퍼 수율 및 처리 품질을 제공합니다. 여기에는 고급 광도 제어 (Advanced Light Intensity Control) 및 동작 제어 (Motion Control) 가 포함되어 있어 설계 사양에 따라 광원의 노출 강도를 정확하게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 기계에는 고성능 굴절 렌즈가 포함 된 정밀 광학 도구가 장착되어 있습니다. 이 렌즈는 전체 웨이퍼 (wafer) 에 균일 한 광원 분포를 제공하며, 정확한 광 노출 제어를 가능하게하여 노출 수준의 변형을 제거합니다. 이를 통해 노출 수준이 전체 웨이퍼 (wafer) 전체에서 균일하게 유지되므로 성능의 변동이 없는 균일 한 미세 구조가 생성됩니다. 도쿄 전자 마크 V (TOKYO ELECTRON Mark V) 자산은 노출 과정 전반에 걸쳐 안정적인 온도를 유지하면서 일관된 포토 esist 품질을 보장하는 민감한 온도 제어 모델을 특징으로합니다. 이 장비는 또한 자동 웨이퍼 등록 시스템 (Automatic Wafer Registration System) 을 제공하여 리소그래피 프로세스 동안 오프셋 또는 잘못 정렬되지 않도록 정확한 웨이퍼 위치를 지정할 수 있습니다. 또한, 마크 V (Mark V) 는 다양한 포토 esist 측정을 지원하여 포토 esist의 품질을 테스트하기위한 광범위한 조건을 제공합니다. 이를 통해 포토레시스트 (photoresist) 의 정확한 실시간 모니터링을 통해 사용자는 노출 프로세스 (Exposure Process) 를 필요에 따라 조정하여 원하는 결과를 확인할 수 있습니다. 전반적으로, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 반도체 장치에서 고품질의 미세 구조를 일관되게 생산하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 장치입니다. 이 기계의 정밀도 (precision optical), 온도 (temperation) 및 정밀도 (registration) 시스템은 사용자에게 높은 수준의 정밀도를 제공하며 노출 프로세스를 제어하므로 성능의 변동이 없는 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.