판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226375

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment는 실리콘 웨이퍼에서 포토 esist의 정확하고 균일 한 에칭을 위해 설계된 리소그래피 도구입니다. 이 "시스템 '은 여러 해 동안 광전증 증착 및 식각 과정 을 발전 시키고 혁신 시킨 결과 이다. 초저면 기판의 집적 회로 (integrated circuit) 제작을 위한 안정적이고 효율적인 도구다. TEL 마크 V (TEL Mark V) 는 반도체 제조업체에서 제조 공정이 시작되기 전에 기판 표면에 포토 esist 레이어를 증착 및 에칭하기 위해 사용됩니다. "포토리토그래피 '로 알려진 이 과정 은" 실리콘 웨이퍼' 에 순회 "패턴 '을 정확 하고 정확 하게 전달 하는 데 필요 하다. TOKYO ELECTRON MARK-V의 고급 기술에는 2D 해상도 제어, 안정적인 균일성, 깨끗함 및 고성능 수성 및 건조 개발자의 선택이 있습니다. 모든 공구는 직경 300 mm 의 기판을 수용할 수 있도록 설계되었으며, 최대 4 개의 탱크의 일정 관리 유연성을 통해 최적의 결과를 제공합니다. Mark V는 표준 photolithography 도구보다 더 높은 청결 수준을 제공하는 듀얼 챔버 (dual chamber) 또는 듀얼 캐비닛 설계를 특징으로합니다. 청정 "챔버 '에는 대기 를 봉인 하는 격리층 이 갖추어져 있어서, 거의 모든 환경 오염 을 제거 한다. 마크-V (MARK-V) 는 또한 완전한 일관성과 정확성을 갖춘 복잡한 이미지 패턴을 만들도록 설계된 특수 소프트웨어를 사용합니다. 이 장치는 스핀 온 (spin-on) 및 스프레이 코팅 (spray coating) 을 포함한 광범위한 포토 esist 재료를 처리 할 수 있습니다. TEL MARK-V는 입자 오염을 줄이고 저항 필름 두께의 균일 성을 1 m에서 2 jm 범위 내에서 개선하도록 최적화되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 놀라운 성능 이점 목록을 제공합니다. 정확한 저항 필름 두께 제어, 고해상도 패턴, 빠른 프로세스 시간, 99.5% 의 청결 수준이 가능합니다. 봉쇄 및 낮은 입자 방출 및 우수한 균일성. 또한, 이 기계는 유연한 2 색 습기를 제공하며 다양한 자동화 기술을 활용하여 구성, 프로그램 및 작동이 용이합니다. TOKYO ELECTRON Mark V (TOKYO ELECTRON Mark V) 는 제조업체의 종합 서비스 프로그램이 지원하는 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다.