판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226374

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 최신 반도체 처리 응용 분야를 위해 여러 기능을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 즉, 처리되는 각 고유 샘플의 특수한 요구사항을 수용하여 보다 효율적이고 정확한 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 즉, 이 예제를 통해, 시스템은 샘플을 표시등에 노출시켜 샘플의 특성을 변경시킴으로써 동작합니다 (예: sample). 이를 통해 연구원들은 후속 리소그래피 프로세스 또는 기타 에칭 프로시저에 대한 포토레지스트 필름 (photoresist film) 또는 기타 얇은 레이어를 정확하게 패턴화 할 수 있습니다. TEL Mark V는 응용 프로그램에 최적화된 몇 가지 기능으로 설계되었습니다. 다양한 샘플의 요구 사항에 맞게 노출 수준을 처리, 조정할 수 있습니다 (영문). 또한 여러 필터 유형과 각 필터의 강도를 손쉽게 조정할 수 있는 기능 (예: 샘플 요구 사항 충족) 을 제공합니다. 고해상도 카메라는 정확성 향상을 위해 특별히 설계되었습니다. 샘플의 정확한 노출을 위해 TOKYO ELECTRON MARK-V 장치는 UV 및 가시 광원의 조합을 사용합니다. 기계에는 자동 초점 기능 (auto-focusing feature) 이 있어 각 샘플에 대한 최적 레벨로 포커스를 조정합니다. 자동 전송 (Automated Transfer) 옵션을 통해 전송 시간을 단축하고 운영 속도를 높일 수 있습니다. 이 도구의 높은 제어 수준은 정확하고 안정적인 패턴을 보장하는 데 도움이 됩니다. 표준 레벨 (Standard Level) 또는 맞춤형 레벨 (Custom Level) 모두에 대한 다중 레벨 노출 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 각 애플리케이션에 대한 신속한 프로세스 개발 및 최적화가 가능합니다. 또한 MARK-V 자산은 광범위한 처리 기능을 제공하며 다양한 기판 재료를 제어합니다. 특정 필름 두께와 해상도를 처리하여 고정밀 (high-precision) 패턴화를 보장합니다. 모델은 또한 기질의 분산을 자동으로 보상합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 효율적이고 정확한 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 강력한 포토 esist 장비입니다. 노출 수준, 필터 유형, 초점, 전송 속도 등을 자동으로 처리하여 패턴 형성을 개선할 수 있습니다. 기판 재료 및 필름 두께에 대한 월등한 수준의 제어 (control) 를 제공하여 보다 정확하고 신뢰할 수있는 패턴화를 만듭니다.