판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226373

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist 장비는 고품질 반도체 장치 생산을 위해 설계된 정교하고 고급 사진 촬영 도구입니다. 이 시스템은 고급 광학 및 기계 설계를 결합하여 웨이퍼에 고효율적인 이미지 전송을 제공합니다. 이 기능에는 고정밀 이미지 투사 장치, 자동 색상 정렬, 전체 자동화 기능이 포함됩니다. 이 기계는 고급 웨이퍼 제조 프로세스를 위해 최대 4um 해상도의 석판 이미지를 투영 할 수 있습니다. 이 도구는 고급 조명기 (advanced illuminator) 를 사용하여 광원 코팅 웨이퍼에 고강도 광원을 투영합니다. 조명기에 내장형 광학 에셋과 스캐너 (스캐너) 가 있어 이미지 품질과 정확도가 가장 뛰어납니다. 이미지 정렬 모델 (Image Alignment Model) 은 광원의 편차를 보완하기 위해 특수 알고리즘 (Special Algorithm) 을 사용하여 설계되어 웨이퍼 상의 이미지를 매우 정확하게 배치합니다. 이미지 정렬 후, 장비는 스테퍼 모터 (stepper motor) 를 사용하여 웨이퍼를 가로 질러 스캐닝 단계를 정확하게 이동하여 투영 및 노출 시간을 더 세밀하게 제어 할 수 있습니다. TEL Mark V Photoresist 시스템에는 고유한 색상 정렬 기능도 있습니다. 이 기능은 photoresist 레이어에서 투영하는 동안 정확한 색상 음영을 얻는 데 도움이됩니다. 조명기의 [RGB] 색상 매개 변수를 자동으로 조정하여 웨이퍼의 이미지 투영이 매우 정확합니다. 또한, 이 장치에는 완전한 자동화 기능이 포함되어 있으며, 사용자는 전체 작업을 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 이로 인해 생산 처리량이 향상되고 운영자의 피로가 줄었습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V Photoresist 기계는 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 대량의 생산을 지원합니다. 또한, 혹독한 환경에서도 높은 성능을 제공하도록 설계되어 자동화된 (Automated) 구성 라인에 사용할 수 있습니다. 이 아트 툴 상태는 뛰어난 이미지 해상도 (image resolution) 와 반복성 (repeatability) 을 제공하여 뛰어난 장치 품질을 제공합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist 자산은 리소그래피 및 photoresist 프로세싱을위한 고급, 다용도 및 견고한 모델입니다. 높은 정확성과 반복성을 보장하며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원하고, 인건비 투입을 최소화하고, 자동화된 처리를 가능하게 합니다. 반도체 제작의 경우 Mark V 장비는 고품질 결과에 이상적인 선택입니다.