판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226372

텔/도쿄 일렉트로닉 마크 V (TEL/TOKYO ELECTRON Mark V) 는 최대 100nm 해상도의 대형 웨이퍼 영역에 박막 레이어를 최적으로 이미지화하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 반음계 수차 교정 렌즈 (Chromatic Aberration Corrected lens) 를 사용하여 노출 시간이 짧은 매우 높은 해상도와 높은 노출 용량을 얻습니다. TEL Mark V 시스템은 엑시머 레이저를 광원으로 사용하는 Pulsed Laser Source로 구동됩니다. 이 장치는 0.23 밀리초의 시간 해상도로 고용량 노출을 제공 할 수 있습니다. "레이저 '원 은 기술적 으로 안정 되어 있으며 전체" 웨이퍼' 에 걸친 용량 의 우수 한 균일 함 이 있다. TOKYO ELECTRON MARK-V 기계에는 노출 용량 및 깊이 균일성의 'OTA (Over-the-Air) 측정이 장착되어 있습니다. 따라서 photoresist 이미지의 품질을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 이 도구는 직관적이고 사용이 간편한 소프트웨어로 photolithography 프로세스를 간소화하는 데 도움이 됩니다. 성공적인 photolithography 프로세스에 필요한 모든 매개 변수에 액세스할 수 있습니다. 또한 효율적인 레시피 및 매개변수 제어, 오류 방지, 현장 내 프로세스 제어가 가능합니다. 자산은 안정성이 뛰어나고 유지 보수 요구 사항이 낮아 생산성이 향상됩니다. 정밀도 등록, 정밀도 정렬 및 정렬 피드백을 허용합니다. 또한 스테이지를 지원하고 단일 위치 OTA에서 최대 200mm 웨이퍼를 로드합니다. 마크-V (MARK-V) 포토레시스트 (Photoresist) 모델은 프로세스 엔지니어링을위한 신뢰할 수있는 도구이며, 용도는 기판의 더 넓은 영역에 걸쳐 여러 사진 저항층 (Photo Resist Layer) 의 성능을 허용하여 제조 비용을 절감하는 데 도움이됩니다. 이 장비는 precision 및 small pattern critical 장치의 생산에 적합합니다.