판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226370

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 탁월한 프로세스 제어 및 성능을 제공하는 뛰어난 포토 esist 및 트랙 장비입니다. 고도의 에칭 (etching) 및 개발 (development) 프로세스를 위해 설계되었으며, 다양한 기능과 컴포넌트가 있어 작동 정밀도가 높습니다. 또한, TEL Mark V는 전송 및 개발 된 포토 esist에서 패턴 복제를 정확하고 효율적으로 수행하도록 보장합니다. 이 시스템에는 키 에칭 (key etching) 매개변수를 자동으로 모니터링할 수 있는 통합 프로세스 제어 장치가 장착되어 있습니다. 여기에는 사용 된 photoresist 재료의 에치 레이트를 모니터링, 자동 조정 및 정확하게 제어하는 것이 포함됩니다. 또한, 이 단위는 점의 범위에 걸쳐 균일 한 레이어 두께를 빠르게 적용할 수 있으며, 따라서 에칭이 최적 레벨 (optimal level) 에 도달하도록 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 긴 공정 시간으로 단일 및 다중 레이어 포토 esist 처리를 수행 할 수 있습니다. 따라서 시간과 비용을 크게 절감할 수 있으며, 프로세스 제어 및 운영 지연을 방지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 반복 가능한 고대비 개발, 고밀도 다층 사진 해설을 할 수 있습니다. 또한, 기계는 가장자리나 겹치지 않고 매우 작은 패턴을 개발할 수 있습니다. 마크 V (Mark V) 는 건식 에칭 장치를 포함하므로 젖은 화학 물질이 없이도 에칭을 수행 할 수 있습니다. 이것은 photoresist 처리 시간을 단축시키고, 전통적인 etching 방법을 사용하여보다 효율적입니다. 이 도구에는 자동 검사 자산 (automated inspection asset) 과 이미지 처리 (image processing) 가 포함되어 있습니다. 더 나아가, "에칭 '과정 중 의 변화 를 방지 하기 위하여 광소시스트 (photoresist) 를 신속 히 청소 하고 반동 하고 재료 를 추적 할 수 있다. 결론적으로, TEL MARK-V는 정밀 프로세스 제어 및 반복 가능한 정확도를 제공하는 매우 유리한 포토 esist 및 트랙 모델입니다. 정확하고 효율적으로 에칭 (etching) 및 개발 프로세스를 수행하는 능력은 고성능 어플리케이션에 이상적입니다. 이 장비는 또한 자동 검사, 이미지 처리 및 건식 식각 (dry-etching) 기능과 같은 고급 기능을 제공하여 리소그래피 프로세스를 더욱 능률화합니다.