판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226212

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment는 리소그래피 프로세스에 사용할 수있는 통합 반자동 시스템입니다. 광전자 (photoresist) 를 정확하게 분배하고 정확하게 노출시켜 더 큰 규모로 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 장치를 제작하기 위해 웨이퍼에 고해상도 패턴을 생산하도록 설계되었습니다. 이 장치는 주 콘솔, 검출기 헤드 어셈블리, 노출 장치 및 WAS (Wafer Alignment Machine) 와 같은 여러 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기본 콘솔 (main console) 은 공구의 중심으로서, 에셋을 제어하기 위한 인터페이스와 작업의 상태와 결과를 표시하기 위한 인터페이스를 모두 제공합니다. 메인 콘솔 (Main Console) 에는 유체 전달 모델 (Fluid Delivery Model) 도 있으며, 리소그래피 프로세스 동안 포토리스 및 기타 액체를 장비에 정확하게 분배하는 데 사용됩니다. 탐지기 헤드 (detector head) 어셈블리는 웨이퍼를 노출 장치 (exposure unit) 를 향해 이동시키는 메커니즘이며, 웨이퍼가 노출 장치 (exposure unit) 의 옵틱 (optics) 에 올바르게 맞춰져 있는지 확인합니다. 노출 장치 (Exposure Unit) 는 프로그래밍 가능한 레이저를 사용하여 패턴을 웨이퍼에 투영하는 반면, WAS (WAS) 는 탐지기 (Detector) 가 포토 esist, 레이저 및 웨이퍼 자체의 잘못된 정렬을 감지하여 교정을 허용하는 메커니즘입니다. 이 시스템은 또한 피드백 (feedback) 장치를 사용합니다. WAS (WAS) 와 함께 노출 및 분배 작업이 모두 가장 정밀하게 수행되도록 도와줍니다. 피드백 머신은 포토 esist 전달 노즐, 레이저 및 웨이퍼 근처에 배치되는 여러 개의 검출기로 구성됩니다. 이 탐지기 들 은 광저항제 의 저항성 을 측정 하고, 또한 실제 의 노출 시간 과 "레이저 '전류 를 탐지 한다. 이 피드백은 리소그래피 프로세스의 정확성과 품질을 보장하는 데 도움이 됩니다. 또한, TEL Mark V는 긴급 정지 도구 (Emergency Stop Tool), 연동 안전 시스템 (Interlock Safety System) 및 카메라 기반 상태 감지 자산 (Camera-based Presence Detection Asset) 과 같은 여러 안전 기능을 사용하여 노출 프로세스가 시작되기 전에 웨이퍼가 올바른 위치에 있는지 확인합니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON MARK-V Photoresist Model은 정밀도가 높은 웨이퍼에 정확한 패턴을 생산하기위한 강력한 도구입니다. 정확한 분배 장비, 프로그래밍 가능한 레이저, 피드백 시스템 (feedback system), 안전 (safety) 기능을 갖춘 이 장치는 더 큰 규모로 마이크로 일렉트로닉 장치를 제작하는 데 안정적이고 일관된 결과를 제공 할 수 있습니다.