판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9225994

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 정확한 적층 정밀도, 고정밀 코팅 및 노출 제어를 제공하도록 설계되었습니다. photoresist 단위는 마이크로 프로세서 제어 기계, 비전 도구 및 프로그램 가능 자외선 (UV) 및 광학 노출 소스의 배열로 구성됩니다. 마이크로프로세서는 적층 (lamination) 및 균일 코팅 프로세스, 시각 자산 (vision asset) 및 노출 (exposure) 설정을 제어하며 일반 및 Ad Hoc 프로세스 조정 기능을 제공합니다. 이 모델은 자외선 (UV) 및 광 노출원 (Optical Exposure Source) 에 대한 다양한 옵션을 운영 프로세스에 맞게 제공합니다. 여기에는 532nm 및 1064nm 레이저 노출 소스, Excimer, ArF 및 KrF 호환 노출 소스 및 플랫폼이 지원하는 다중 노출 소스가 포함됩니다. TEL Mark V photoresist 시스템의 비전 장비는 전체 필름 균일성과 균질성을 정확하게 제어합니다. 또한, 이 장치는 초미세 스테퍼를 사용하여 높은 수준의 기판 및 레이어 정밀도를 달성합니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 포토 esist 머신은 실리콘, 유리 및 금속을 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있으며, 최소 크기가 5um 인 빔 스텝 응용 프로그램도 처리 할 수 있습니다. 또한 에칭 (etching), 패턴 인쇄 (pattern printing), 레이어 전송 (layer transfer) 등 다양한 생산 프로세스를 원활하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 이 툴은 생산의 효율성을 높이도록 설계된 여러 가지 기능을 제공할 수 있습니다 (영문). 여기에는 지속적인 운영, 높은 처리량, 패턴 최적화 및 기판 일치 기능을 위한 인라인 프로세싱이 포함됩니다. 정확한 작동을 지원하고 최고 수준의 일관성을 유지하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V photoresist 자산에는 트랙 워치, 자동 교정, 시각 형상 및 모니터링 모델 등의 프로세스 제어 기능이 포함됩니다. 이 장비는 또한 경보 설정, 데이터 기록, 통계 분석 및 여러 통신 프로토콜에 대한 지원을 제공합니다. 전반적으로 MARK-V 포토 esist 시스템은 신뢰할 수 있고, 재현 가능하며, 고정밀 코팅, 라미네이션 및 노출 성능을 제공 할 수있는 고급 포토 esist 단위입니다. 이 기계의 통합 비전 (Integrated Vision) 툴과 다양한 노출 소스 (Exposure Source) 및 지능형 프로세스 제어 (Intelligent Process Control) 기능을 통해 정확하고 안정적인 결과를 필요로 하는 운영 환경에 적합합니다.