판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9222912
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ID: 9222912
빈티지: 1999
Systems
Utility:
Drive pressure:
Unit drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Ejector drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Resist pump drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Vacuum pressure:
Spinner: -550 mm Hg (-73.3 kpa)
WEE: -400 mm Hg (-53.3 kpa)
C/S, I/F(V,Vz): -400 mm Hg (-53.3 kpa)
N2 Pressure:
N2 Primary pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Developer solution canister tank pressure: 1.0 kgf/ cm² (98 kpa)
HMDS Supply tank pressure: 0.5 kgf / cm² (49 kpa)
Thinner supply tank pressure: 0.5 kgf / cm² (49 kpa)
Resist bottle pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
Adhesion unit bubbler tank pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
E2 Nozzle blow pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
DI Water and developer solution:
Primary pressure: 1.0 kgf / cm² (98 kpa)
Secondary pressure: 1.0 kgf / cm² (98 kpa)
Chilly water:
Primary pressure: 1.5 kgf / cm² (147.1 kpa)
Exhaust pressure:
Coater cup: 5 mm H2O (0.05 Pa)
Developer cup: 10 mm H2O (0.1 Pa)
Scrubber cup: 10 mm H2O (0.1 Pa)
WEE Lamp house: 11∼13 mm H2O (0.11∼0.13Pa)
Temperature: 20~27° C Variance to be less than 0.5° C
Humidity: 28~55% RH Variance to be less than 3% RH
Power supply: 100/200 V, 50/60 Hz, Single phase, ±10%
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 포토 esist 장비입니다. 기판 (일반적으로 실리콘 웨이퍼) 에 패턴을 에치하는 데 사용되는 장치이며, 반도체 제작에 사용됩니다. 빛에 민감한 필름 (photoresist) 을 노출시켜 작동합니다. 그런 다음 노출 된 영역을 개발 및 화학적으로 처리합니다. 결과는 기판에 에칭 된 패턴입니다. TEL Mark V는 정확성을 염두에두고 제작되었습니다. 고급 4 축 변환 단계가 있으므로 기판을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 제품은 4X ~ 10배의 조절 가능한 배율을 갖춘 고해상도 광학 시스템 (Optical System) 을 통해 정확한 패턴 해상도와 정렬을 지원합니다. 광학 장치에는 에너지 효율이 높은 LED 소스와 NIR, 자외선 광원 등 다양한 조명원이 장착될 수 있다. 또한 '자동 스캔 (Auto Scan)' 기능을 통해 노출 시간을 줄이고 정렬 오류로 인한 오류 패턴 지정 가능성을 없앨 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V는 사용하기 쉽고 신뢰할 수있는 기계입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 다양한 기능을 통해 초보자 (novice) 와 숙련된 사용자에게 쉽게 사용할 수 있습니다. 그것 은 여러 가지 포토레시스트 (photoresist) 물질 을 적재 할 수 있으며, 그것 은 광범위 한 무늬 를 만들 수 있다. 또한 '스마트 가장 가까운 이웃 (Smart Nearest Neighbor)' 옵션을 통해 동일한 포토 esist 레이어를 여러 번 노출 할 수 있으며, 각 노출은 특정 기판에 최적화되었습니다. 이 기능은 패턴 해상도를 향상시키고 수율을 증가시킵니다. 또한 MARK-V 는 내장형 터치 패널 모니터를 통해 사용자에게 도구 작동에 대한 정보를 제공합니다. 여기에는 프로세스 매개 변수에 대한 정보와 경고, 경고가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 실시간으로 모니터링하고, 그에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mark V (TOKYO ELECTRON Mark V) 는 높은 처리량에서 정확한 패턴화를 제공하는 고급, 사용하기 쉬운 포토레시스트 자산입니다. 반도체 제작에 적합하며, 경험이 풍부한 사용자와 초보 사용자가 모두 사용할 수 있을 정도로 안정적이고 사용자 친화적입니다 (영문).
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