판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111401

텔/도쿄 일렉트로닉 마크 V (TEL/TOKYO ELECTRON Mark V) 는 반도체 및 고급 포장 산업의 고급 사진 석판 공정을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 그것 은 진공 을 이용 하여 "챔버 '로부터 공기 와 수분 을" 펌프' 하는 진공 기반 건조 "시스템 '을 이용 하여" 포토리스토그래피' 공정 의 정확성 을 향상 시킨다. 이 장치에는 고출력 레이저 투영 장치 (laser projection unit) 가 있어 고해상도의 기판에 레이저 패턴을 정확하게 투영할 수 있습니다. SMB (중소, 중견, 성장 기업) 및 대규모 시야를 지원하는 다양한 애플리케이션의 다양한 레이저 파장을 지원합니다. TEL Mark V에는 고품질 생산을 위해 레이저 패턴을 정확하게 제어 할 수있는 고정밀 레이저 빔 (laser beam) 정렬 머신이 장착되어 있습니다. 또한 고급 진동 제어 시스템과 통합되어 표면 매끄러움과 정확성을 향상시킵니다. 이 도구는 또한 비교적 평평한 표면과 반복 가능한 패턴을 달성 할 수있는 자동 레벨링 에셋 (auto-leveling asset) 을 특징으로합니다. 이를 통해 프로세스 일관성이 향상되고 기간 연장되는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 또한 자동화된 레이저 제어 장비 (Automated Laser Control Equipment) 와 통합되어, 사용자가 최적화된 처리를 위해 레이저 펄스의 주파수 및 투영 방향을 조정할 수 있습니다. 다중 축 모터 시스템 (multi-axis motor system) 은 photolithography 프로세스의 기능을 향상시키는 레이어 별 교정 및 교정에 포함됩니다. "컴퓨터 '는" 프로그램' 가능 한 "로직 보드 '와 함께" 프로그램' 을 사용 하여 전자 회로 "보오드 '와 동일 한 방법 으로 명령 과 사전 설정 된 값 을 실행 할 수 있다. 또한, 이 도구는 설정의 정확성을 확인하고 TOKYO ELECTRON MARK-V의 전반적인 성능을 미리 테스트 할 수있는 고급 시뮬레이션 프로그램과 통합됩니다. 이 기능을 사용하면 실제 프로세스가 시작되기 전에 프로세스 매개변수를 식별하고 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 자산은 프로세스의 모든 단계를 기록하는 추적 가능성 관리 모델 (traceability management model) 을 갖추고 있으며, 제조 프로세스 전반에 걸쳐 데이터 기반 감사 추적을 제공합니다.