판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9054827

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment는 리소그래피 리플로우 및 포토 esist 처리를 위해 특별히 설계된 고급 자동 코팅 및 개발 시스템입니다. Photoresist는 리소그래피에서 표면에 미세한 패턴을 만드는 데 사용되는 빛에 민감한 물질입니다. 이 장치에는 최고 정밀도에 대한 정밀도와 온도제어가 향상된 고급 IPC (Intelligent Process Control) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 환경 챔버 (Environmental Chamber) 를 갖추고 있으며 특허를 획득한 자체 조정 흐름 기술을 사용하여 기판을 최적의 증착으로 효율적이고 정확하게 코팅합니다. 이것은 광범위한 온도에서 균일 한 코팅과 일관된 성능을 보장합니다. 이 도구는 또한 정확한 레시피 제어 위치와 균일 한 웨이퍼를 제공하는 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 갖추고 있습니다. 또한, 고용량 코팅 이중 포지셔닝 메커니즘은 기판 처리를 용이하게하고, 서보 제어 암은 코팅의 균일성을 구동합니다. TEL Mark V 자산은 전체 포토레지스트 (photoresist) 프로세스를 자동화하고 다양한 어플리케이션에 맞게 조정할 수 있는 동적 난방 모델 (dynamic heating model) 및 웨이버 열 제어 (waver thermal control) 와 같은 기능을 통합합니다. 증착 후 고속 장비 (high-speed post-deposition equipment) 는 생산 처리량을 증가시켜 기판의 스트레스가 적어 더 많은 마무리를 허용합니다. 또한, 이 시스템에는 리토그래피 패턴을 정확하게 캡처하고 패턴에 따라 이동식 (moveable) 요소를 제어하는 기능이 있는 고급 레이저 스캐닝 장치 (advanced laser scanning unit) 가 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 포토 esist 머신은 고성능 클리닝 사이클을 가지며, 다양한 기판에 안전하고 효과적인 포토 esist 층을 제공합니다. 내장된 프로세스 제어 (process control) 기능은 작업을 직접 모니터링하고 모니터링하며, 매개변수를 지속적으로 조정하고 최적화하여 최고 품질의 결과를 보장합니다. 이를 통해 보다 일관된 성능, 향상된 수율, 궁극적으로 전반적인 효율성을 보장할 수 있습니다. 마크-V (MARK-V) 도구는 기판 손실이 최소화되면서 프로세스 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 기존 사진 촬영 장비와 통합되어 최고 수준의 정확도를 제공합니다.