판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033679

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 생산을위한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 화학적으로 증폭되고 비 화학적으로 증폭 된 저항성 제제 (resist formulation) 를 포함하여 광범위한 광 esist 물질을 처리하도록 설계되었습니다. TEL Mark V 시스템은 탁월한 해상도, 우수한 라인 에지/너비 성능, 뛰어난 에지 배치 정확도를 제공하도록 최적화되었습니다. 또한 기판 당 처리량을 높일 수 있도록 설계되어, 비용 절감 효과를 높일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 장치는 TEL Helios FT-IR 분광 기술을 사용하여 최고 성능을 달성하여 다양한 광학 어셈블리 및 기판을 처리 할 수 있습니다. 저온 조절은 전체 기판에서 우수한 에칭 성능과 더 나은 균일 성을 허용합니다. 이 기계는 또한 이미징 및 라인 에지 거친 (line edge roughness) 최적화와 용량, 용량 균일성, 에치 레이트의 실시간 최적화를 위한 통합 마이크로 옵티컬 추적 도구 (micro-optical traceability tool) 를 제공합니다. 이 자산에는 다양한 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있어 고수율 (High Yield) 생산에 이상적입니다. 기판 로딩 및 언로드를 위한 고속 멀티플렉싱 (multiplexing) 모델과 패턴화 및 정렬 (patterning and alignment) 이 있습니다. 또한 필름 두께 및 굴절률 (refractive index) 과 같은 사진별 매개변수가 아닌 나머지 매개변수를 제어하기위한 모듈식 소프트웨어 패키지가 있습니다. 이 장비는 모듈성 (modularity) 으로 인해 추가 기능을 추가하여 처리량 (throughput) 과 비용 절감 효과를 더욱 높일 수 있습니다. TEL MARK-V 시스템은 또한 자동 쓰기 필드 정렬 장치 (write field alignment unit) 를 제공하여 필드 정확도를 높이고 시스템 다운타임을 줄입니다. 통합 e-Beam/Stepper 프로세스 제어는 Stepper 및 e-Beam 도구 간의 뛰어난 연결과 최적화를 가능하게 합니다. 이 기계에는 더 빠르고 반복 가능한 에칭을 위해 통합 된 e-Beam 기반 오버레이 및 수성 청소 도구가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V는 최고 성능의 포토 esist 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 강력한 기술, 다양한 기능, 뛰어난 연결성을 통해 반도체 제조에 이상적인 선택이 됩니다.