판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033678

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9033678
Coat & Develop track system, 5".
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 과학 연구 및 제조에 이상적인 고도의 포토 esist 장비입니다. 최첨단 자동화, 로보틱스, 비전 시스템 (Vision System) 기능을 갖춘 모든 기능을 갖춘 독립형 플랫폼으로, 하이테크 환경에서 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 생산이 가능합니다. 이 장치는 포토레스 코팅 (photoresist coating), 개발 및 노출 프로세스를 정밀 제어하여 물리적 웨이퍼와 회로 사이의 정확한 인터페이스 레이어를 제공합니다. 또한, 자동화 된 시스템은 인간 오류의 위험을 줄이는 반면, 광범위한 프로세스 제어 매개변수 (process control parameters) 는 포토레시스트 사이클 시간 (photoresist cycle time) 과 생산 수확량의 빠른 최적화를위한 이상적인 플랫폼을 제공합니다. TEL Mark V 는 효율적이고, 통합성이 높은 자동화 플랫폼을 활용하여 운영 작업의 관리 및 구성을 간소화합니다. 모듈식 로봇 머신에는 암마운트 스캐너 (arm-mounted scanner), 유연한 포지셔너 (flexible positioner) 및 정확한 거리 센서가 포함되어 있어 수동 개입없이 실리콘 웨이퍼를 신속하게 재배치 및 해제할 수 있습니다. 또한, 통합 비전 도구를 사용하면 강력하고 비용 효율적인 방법으로 정확한 검사 및 광전자 장치 교정을 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON MARK-V 자산은 또한 종합적인 코트, 개발 및 노출 레시피를 제공합니다. 사용 가능한 모든 레시피는 다른 기능과의 시너지 (synergy) 를 최적화하기 위해 프로그래밍되어 있으며, 보다 빠르고 신뢰할 수있는 포토레시스트 (photoresist) 처리를 가능하게합니다. 또한, 모델은 제품별 요구 사항에 따라 레시피를 자동으로 선택할 수 있으므로, 처리되는 기판에 관계없이 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. TEL MARK-V photoresist 장비는 다양한 photoresist 관련 응용 프로그램에 이상적인 고급 기능을 제공합니다. 유연한 자동화, 견고한 비전 시스템, 종합적인 레시피를 갖춘 이 제품은 비용 효율적이고 고성능 포토레지스트 (photoresist) 처리를 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다.
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