판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293596582

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 반도체 제작을위한 다기능 포토 esist 장비입니다. 다양한 기판을 처리 할 수있는 고급, 컴퓨터 제어 클러스터 도구입니다. 전자 빔 기술을 사용하여 150 나노미터까지 고정밀 패턴을 만들 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 크기 (최대 8 인치) 와 단일 또는 다중 기판 (단일 또는 다중 기판) 을 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 내장 스캐너는 고해상도에서 고속 매핑 및 패턴 정렬을 지원합니다. 또한 액정 영상 장치 (액정 영상 장치) 와 광학 현미경을 내장하여 포토 마스크의 고정밀 초점을 맞출 수 있습니다. TEL Mark V는 화학 증기 증착의 변형 인 V-CVD 프로세스를 사용합니다. 이 과정은 중합체의 산화 및 강착을 방지하며, 이는 표면 결함을 유발할 수 있습니다. 또한 균일 한 표면 레이어를 보장하고 웨이퍼 수율을 증가시킵니다. 도쿄 전자 마크-V (TOKYO ELECTRON MARK-V) 에는 드리프트 보상 (drift compensation) 기술이 탑재되어 있어 위치 오류 없이 고해상도 패턴을 만들 수 있는 정확한 빔 포지셔닝이 가능합니다. 최대 수율의 경우, 고급 최적화 알고리즘과 함께 제공되어, 용량과 초점 설정을 최적화할 수 있습니다. 이 장치에는 패턴 왜곡을 피하기 위해 넓은 영역 패턴화와 프로그래밍 가능한 열 장 (thermal field) 을위한 고출력 전자원이 포함되어 있습니다. 마크 V (Mark V) 는 최신 포토마스크 처리 기술을 탑재했으며 LCD, 초고속 반도체 회로, 차세대 반도체 소자에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있다. 이 기계는 또한 휴대성이 있으며, 생산 라인의 응용 프로그램에 이상적입니다. 또한, IP44 등급에 의해 보호되며, 이는 입자, 먼지 및 액체가 공구에 들어가는 것을 방지합니다. 마지막으로, 패드 데미지 (pad damage) 및 산화 방지 (oxidation protection) 를 포함한 고급 안전 측정에서도 이점이 있습니다.