판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293596565

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 293596565
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V는 다양한 기판에 복잡한 패턴을 만드는 데 사용되는 고급 포토 esist 시스템입니다. 반도체 웨이퍼 (Wafer) 에서 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 에 이르기까지 다양한 소재에서 이미지를 제작할 수있는 다용도 기계입니다. TEL Mark V는 다양한 기술을 사용하여 웨이퍼에 포토 esist 레이어를 에치 (etch) 하거나 노출시켜 정밀 이미징 및 패턴화를 허용합니다. 이 기계의 핵심 특징은 평면 (flat) 패널 재료를 가져와 고해상도로 정확하게 무늬 (pattern) 하는 기능입니다. 광저항 (Photoresist) 은 빛에 노출 될 때 패턴을 형성하기 위해 기질에 적용되는 빛에 민감한 코팅입니다. TOKYO ELECTRON MARK-V를 사용할 때의 첫 번째 단계는 기판에 포토 esist 코팅을 놓는 것입니다. 이 단계 는 "패턴 '전달 에 중요 하며, 광전사 가 사용 되는 빛 의 선택 과 농도 에 민감 하기 때문 에, 대단 한 주의 와 정확성 을 가지고 해야 한다. 다음으로, Mark V는 일련의 이미징 광학 (예: 레이저) 을 사용하여 원하는 패턴을 photoresist 레이어에 투영합니다. 이러 한 광학 장치 는 "레이저 '가 아주 작은" 패턴' 을 만들어 낼 수 있게 하여 정확 하고 정확 한 무늬 를 만들 수 있게 해 준다. 다음 단계 는 광저항 층 과 반응 하여 원하는 "패턴 '을 형성 하는" 와시터' 발달단 에 기질 을 노출 시키는 것 이다. TEL MARK-V는 또한 에칭 (etching) 및 하드 베이킹 (hardbaking) 과 같은 포토 esist 처리 사이클의 다른 단계를 수행 할 수 있습니다. 에칭 (Etching) 은 포토 esist 레이어를 제거하는 과정이며, 하드 베이킹은 고온에서 포토 esist 레이어를 굽는 과정입니다. 이 두 프로세스는 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V 챔버에서 이루어지며, 이러한 프로세스의 온도 및 타이밍은 소프트웨어를 통해 제어 할 수 있습니다. 마지막으로 기판을 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Mark V는 신뢰할 수 있고 효율적이며 정확한 포토 esist 시스템입니다. 고급 이미징 광학 장치 (Advanced Imaging Optics) 와 포토레스 처리 (Photoresist Processing) 의 다양한 단계를 제어 할 수있는 MARK-V는 다양한 기판에 대한 고품질 패턴을 생성 할 수 있습니다. 그 효율적이고 정확한 패턴화 (patterning) 기능은 정밀 이미징이 필요한 제조업체들 사이에서 널리 사용되는 선택입니다.
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