판매용 중고 EBARA UFP 300A #9228100

EBARA UFP 300A 포토 esist 장비는 고급 마스크 없는 석판화 응용 프로그램을위한 초정밀 고성능 변조기입니다. 이 시스템은 기판의 넓은 영역에 걸쳐 매우 높은 해상도의 이미징 (단일 "미크론 '기능 크기로 감소) 을 가능하게 합니다. 정산 시간 이 단지 50 "나노초 '에 불과 한 매우 빠른 응답 시간 을 지닌 것 으로" 이미징' 광선 의 정확 한 위치 와 조절 이 가능 하다. EBARA UFP-300A 는 강력한 FPGA 기반 유닛을 사용하여 제어되며, 이러한 FPGA (Scanning Beam) 의 포지셔닝은 물론 데이터 수집 및 프로세싱을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 기계는 고감도 포토레지스터를 사용하여 스캐닝 빔 (scanning beam) 에 의해 생성 된 초보라광 (ultra-violet light) 을 감지한 다음 빔을 적절히 변조하여 원하는 해상도를 달성합니다. 또한 스캐닝 빔 (scanning beam) 을 자동으로 정렬하여 전체 기판 표면에 균일하고 고해상도 노출을 보장합니다. UFP 300A 에는 최신 먼지 억제 기술 (dust suppression technology) 이 적용되어 청소실 환경에서 작동 할 수 있습니다. 에셋에는 최대 출력 및 품질을 보장하기 위해 다양한 액세서리 (예: 필터, 배출 수집기) 가 제공됩니다. 이 모델에는 기판 (beam) 에 실수로 노출되는 것을 방지하기 위해 인터 록 (interlock) 을 포함하여 완전한 안전 기능 (safety features) 이 장착되어 있습니다. UFP-300A는 가장 복잡한 마스크 없는 리소그래피 (lithography) 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 초고속 (초고속) 응답 시간과 결합된 고정밀 (high-precision) 정렬 장비를 통해 넓은 지역에 비해 매우 미세한 해상도를 제공합니다. 이것은 극단적 인 사진 리토그래피 정밀도가 필요한 제조 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.