중고 EBARA (포토레지스트) 판매용
에바라 (EBARA) 는 반도체 제조 공정에 널리 사용되는 다양한 포토 esist 장비를 제공하는 유명한 제조업체입니다. 이러한 시스템은 뛰어난 성능과 신뢰성으로 인기를 얻었습니다. EBARA 는 다양한 고객 요구 사항을 충족하는 독보적인 기능과 장점을 갖춘 다양한 아날로그 (analogue) 를 제공합니다. 그들의 주목할만한 포토 esist 유닛 중 하나는 UFP 200A입니다. 이 시스템은 다양한 기판에 우수한 접착 특성을 지닌 고해상도 (High-resolution) 패턴화 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 뛰어난 저항 감도와 높은 명암을 제공하여 고급 석판화 (lithography) 프로세스에 적합합니다. 또 다른 시스템은 UFP 300A로 뛰어난 해상도와 이미징 기능을 제공합니다. 최소 라인 가장자리 거칠기와 높은 패턴 충실도를 보여 주므로 장치 성능이 향상됩니다. UFP 300A (UFP 300A) 는 화학 및 플라즈마 에칭 공정에 강하므로 까다로운 제조 환경에 적합합니다. EBARA는 또한 CAD HVM (High Volume Manufacturing) 포토 esist 시스템을 제공합니다. 이 시스템은 고출력 생산 환경을 위해 특별히 개발되었으며, 뛰어난 석판화 성능을 유지하면서 생산성을 높였습니다. CAD HVM은 뛰어난 코팅 균일성, 저항 감도 및 라인 너비 제어로 유명합니다. 전반적으로 UFP 200A, UFP 300A 및 CAD HVM을 포함한 EBARA의 포토 esist 기계는 반도체 제조 공정에 대한 고급 솔루션을 제공합니다. 이러한 도구는 고해상도, 뛰어난 접착, 로우 라인 에지 (low line edge) 거친 기능, 고해상도 생산 환경과의 호환성 등 뛰어난 장점을 제공합니다.
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