중고 AXCELIS / FUSION (이온 주입기 & 모니터) 판매용

AXCELIS Fusion은 AXCELIS Technologies에서 개발 한 일련의 이온 임플랜터입니다. 이온 임플란터 (Ion implanter) 는 제조 과정에서 이온을 실리콘 웨이퍼에 이식하기 위해 반도체 산업에서 사용되는 중요한 장비입니다. 퓨전 (Fusion) 시리즈는 이온 임플란테이션을위한 최첨단 기술을 제공하여 실리콘 웨이퍼의 정확하고 정확한 도핑을 보장합니다. AXCELIS Fusion 시리즈의 두드러진 장점 중 하나는 높은 처리량 기능입니다. 이 "임플랜터 '는 단기간 에 많은 수 의" 웨이퍼' 를 처리 하도록 설계 되어 있으며, 반도체 제조업자 들 이 생산 용량 을 증가 시킬 수 있게 해 준다. 또한, Fusion 시리즈는 뛰어난 임플란트 균일성을 제공하여 일관된 전기 성능과 향상된 장치 기능을 제공합니다. AXCELIS Fusion Implanter에는 장비가 최적의 효율로 작동하도록 하는 고급 모니터링/제어 시스템이 함께 제공됩니다. 이러한 모니터링 시스템은 이식 프로세스의 다양한 매개변수 (예: 빔 에너지, 전류, 각도) 를 모니터링합니다. 이러한 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 조정함으로써 [퓨전] 임플랜터는 정밀하고 일관된 도핑 수준을 유지할 수 있으며, 결과적으로 더 높은 수율과 향상된 장치 성능을 얻을 수 있습니다. 예를 들어, Fusion 11033910은 AXCELIS의 고전류 임플랜터입니다. 고급 빔 컨트롤을 제공하여 정확한 용량 제어 및 균일성을 제공합니다. 이 특정 모델은 또한 고속 임플란테이션을위한 스캐닝 시스템을 갖추고 있으며, 생산성을 더욱 향상시킵니다. 퓨전 11033910 (Fusion 11033910) 은 고정밀도 및 고 처리량 이온 임플란테이션이 필요한 고급 반도체 장치의 생산에 널리 사용됩니다.