중고 AXCELIS / FUSION (급속열공정장비) 판매용

Axcelis는 빠른 열 프로세서 (RTP) 를 전문으로하는 반도체 업계에서 유명한 제조업체입니다. 그들의 RTP (Fusion line of RTP) 시스템은 고급 온도 조절 및 프로세스 균일성을 제공하여 다양한 반도체 제작 프로세스에 대한 정확한 난방 및 냉각 주기를 보장합니다. Axcelis의 RTP는 기존의 처리 방법에 비해 몇 가지 이점을 자랑합니다. 첫째, 그들은 빠른 열 어닐링 (annealing) 을 제공하여 전통적인 용광로보다 훨씬 빠르고 정확하게 고온을 제공합니다. 이 기능은 주기 시간을 크게 줄이고 전반적인 생산성을 향상시킵니다. 또한 Axcelis의 Fusion RTP는 뛰어난 프로세스 유연성을 제공하여 도펀트 활성화, 실라이즈 형성, 산화물 성장 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. Axcelis의 Fusion RTP 시스템의 주목할만한 예로는 Integra RS, 800S 및 Summit 200이 있습니다. 통합 RS (Integra RS) 는 전면 및 후면 난방 기능을 모두 제공하는 다용도 시스템으로, 최적의 균일성을 보장합니다. 800S는 탁월한 온도 조절과 낮은 에너지 소비로 유명한 고성능 RTP입니다. 마지막으로, Summit 200은 매우 얕은 접합 형성을 위해 설계되었으며 뛰어난 프로세스 반복성을 제공합니다. 전반적으로 Axcelis의 Fusion RTP는 반도체 제조업체에 열 처리를 위한 정확하고 효율적인 솔루션을 제공하여, 장치 성능 및 수율을 향상시킵니다.