중고 AXCELIS / FUSION (노출 시스템) 판매용
AXCELIS는 이온 이식 및 기타 고급 반도체 장비 제조업체입니다. 주요 제품 중 하나는 AXCELIS FUSION 노출 시스템으로, 업계에서 높은 평가를 받고 있습니다. AXCELIS FUSION 시스템은 혁신적인 기술과 고성능 기술을 결합하여 정확하고 효율적인 photoresist 노출이 가능합니다. 노출 장비는 프로세스 제어와 신뢰성이 우수하여, 일관되고 정확한 결과를 얻을 수 있는 것으로 알려져 있습니다 (영문). FUSION 시스템은 200 PCU, M 150PC 및 M 200 PCU를 포함한 여러 모델을 제공합니다. 이러한 모델은 각기 다른 고객 요구 사항과 운영 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 예를 들어, 200 PCU 모델은 컴팩트한 디자인과 높은 처리량을 제공하여 대용량 (high-volume) 제조에 적합합니다. 반면, M 150PC 모델은 향상된 정밀도 (Precision) 와 정확도 (Accurity) 를 제공하여 엄격한 프로세스 제어가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. AXCELIS FUSION 노출 시스템의 장점 중 하나는 다용도입니다. "와퍼 (wafer) '와 소재 (material) 를 다룰 수 있어 다양한 반도체 제조공정에 적합하다. 또한, 이 장치는 로봇 웨이퍼 처리 (robotic wafer handling) 및 지능형 프로세스 제어 알고리즘 (intelligent process control algorithm) 과 같은 고급 자동화 기능으로 설계되어 생산성을 높이고 연산자의 개입을 줄입니다. 전반적으로 AXCELIS FUSION 노출기는 성능, 신뢰성, 유연성 등으로 널리 인정받아 전 세계 반도체 제조업체들 사이에서 널리 보급되고 있습니다.
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