판매용 중고 KLA / TENCOR / ADE 7600 Surfscan #9410326

KLA/TENCOR/ADE 7600 Surfscan은 반도체 측정, 검사 및 수율 향상을위한 다용도 및 고급 응용 프로그램을 제공하는 예술 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비 상태입니다. 이 시스템은 고급 웨이퍼 검사, 도량형, 전기 테스트, OBIRCH, Advanced Defect Classification 및 Automated Defect Review 기능을 사용하여 최고 수준의 결함 감지 및 분류를 지원합니다. 최첨단 알고리즘으로 구동되는 이 장치는 이전 시스템의 처리량 (500 배) 을 통해 최대의 수익률과 생산성을 제공합니다. KLA 7600 Surfscan은 스루 웨이퍼 옵토 메카닉에 최적화된 독특한 3 차원 광학 수집 기술을 사용합니다. 타의 추종을 불허하는 도량형 해상도를 제공하여 고급 도량형 및 심도 프로파일링 분석을 통해 실시간, 교차 웨이퍼 (cross-wafer) 비교를 제공합니다. 또한 프로세스 제어 및 문제 해결을 위해 etch 프로세스를 효과적으로 비교할 수 있습니다. 기계의 고급 결함 분류 엔진 (Advanced Defect Classification Engine) 에는 결함 서명 및 특성에 대한 포괄적 인 라이브러리가 포함되어 있으며, 자동 결함 입력, 정확한 False-positive Detection 및 변형 특성화가 제공됩니다. 또한 via, contact, line-width 및 depth 와 같은 중요 크기 (CD) 의 결함 분류가 가능합니다. ADE 7600 Surfscan에는 결함 클러스터링, 성능 분석, 통합 분류 엔진 및 OBIRCH 등 고급 결함 검토 작업을 수행할 수 있는 강력한 ADR (Automatic Defect Review) 솔루션도 포함되어 있습니다. 광범위한 애플리케이션에서 최고 수준의 생산성 및 품질 관리 기능을 제공합니다 (영문). 이 툴의 포괄적인 하드웨어/소프트웨어 패키지에는 포괄적인 하드웨어 라이브러리 (hardware library) 와 고급 애플리케이션 플랫폼 (advanced application platform) 이 포함되어 있어 고객의 모든 요구를 충족할 수 있습니다. 또한 자동 원격 운영, 네트워크 데이터베이스 및 다양한 CAD 시스템과의 호환성을 제공합니다. 자산은 200mm 및 300mm 웨이퍼 (wafer) 크기를 모두 지원하며, 컴팩트한 디자인은 최소한의 공간을 사용하여 배포에 매우 경제적입니다. 결론적으로, 7600 Surfscan은 가장 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션 중 하나입니다. 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션과 결합된 고급 도량형 (Advanced Metrology) 및 결함 감지 (Defect Detection) 기능을 통해 최고 수준의 처리량 및 생산성을 제공합니다.