중고 KLA / TENCOR / ADE (웨이퍼 테스트 및 계측) 판매용
KLA/TENCOR는 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 제조업체입니다. 그들의 시스템은 제조 과정에서 웨이퍼의 품질과 성능을 테스트, 측정하도록 설계되었습니다. 주력 제품 중 하나는 AMS/AFS 3220FA이며, 이는 고급 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 제품은 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 이미징 (darkfield imaging) 기술을 조합하여 높은 감도와 정확도로 웨이퍼의 결함을 감지합니다. 이 시스템은 메모리 및 논리 장치 제작에 널리 사용됩니다. KLA/TENCOR에서 널리 사용되는 또 다른 시스템은 7200E이며, 이는 리소그래피 프로세스 제어를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 검사 시스템입니다. 임계 치수와 오버레이 정밀도에 영향을 줄 수 있는 결함의 감지 (detection) 및 특성 (characterization) 을 가능하게 합니다. 웨이퍼 결함 검토 및 분석을 위해 KLA/TENCOR는 7600 Surfscan 시스템을 제공합니다. 이 시스템은 레이저 스캔 기술을 사용하여 웨이퍼의 결함을 신속하게 식별하고 분류합니다. 포장을 위해 웨이퍼를 보내기 전에 최종 검사 단계에서 널리 사용됩니다. KLA/TENCOR 의 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 시스템 (metrology system) 의 주요 장점은 웨이퍼 품질과 성능에 대한 정확하고 안정적인 데이터를 제공하는 기능입니다. 이를 통해 반도체 제조업체는 제조 과정에서 발생할 수 있는 문제를 파악하고 해결하여 생산량을 높이고, 제품 품질을 높일 수 있습니다 (영문).
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