판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293822127
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 반도체 장치의 성능 및 품질 보증을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 6420 시스템은 고밀도 플립 칩 장치 (flip chip device) 와 광학 부품 (optical component) 을 포함하여 가장 현대적인 고급 패키지 및 장치에서 결함과 표면 특성을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 이미지 분석 (advanced image analysis) 및 고급 머신 러닝 (advanced machine learning) 기술을 사용하여 작은 구조 및 파라 메트릭 결함을 감지하고 명목 값에서 큰 편차를 가진 결함을 감지합니다. 6420 기계는 스캔을 통해 고해상도, 고품질 웨이퍼 이미지를 얻어 비접촉 웨이퍼 표면 테스트 및 도량형을 수행합니다. 이 도구는 진공 제어, 폐쇄 루프 스탠드 오프 스캐닝 (closed-loop standoff) 프로세스를 사용하여 대형 기판에서 웨이퍼 피쳐를 빠르고, 정확하고, 반복적으로 측정할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼-웨이퍼 (Wafer-to-Wafer) 정렬 정확도를 향상시키고 광범위한 전자 패키지 및 디바이스 크기를 반복 검색할 수 있습니다. 에셋은 넓은 시야와 높은 다이내믹 레인지 (dynamic range) 를 제공하여 범프 (bumps), 확장기 (expander), 치수 (dimensions) 와 같은 장치 기능을 측정할 수 있도록 마이크로 및 나노 결함을 감지 할 수 있습니다. 이것은 오프 다이 변형, 특히 인간의 눈에 인식하기에는 너무 작은 변형을 식별하는 데 도움이 될 수 있습니다. 이 모델은 단일 스캔에서 수백 개의 작은 결함과 변형을 감지 할 수 있으며, 단일 다이 (single die) 에서 수백 개의 패턴 정의를 스캔 할 수 있습니다. KLA 6420 Surfscan은 데이터 세트를 구성하고 레시피 개발을 위해 직관적이고 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 장비에는 고급 매개변수 선택 (advanced parameter selection) 과 통계 분석 (statistical analysis) 기능이 있으며 한 로트의 검사 결과를 다른 로트와 비교할 수 있습니다. 이를 통해 알 수 없는 결함을 파악하고, 추가 테스트의 필요성을 최소화할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 시각화 (visualization) 옵션을 제공하여 사용자가 신속하게 결과를 검토 할 수 있습니다. TENCOR 6420 Surfscan은 통합 결함 검토 장치를 제공하여 가장자리 거칠기 (edge roughness) 또는 불규칙성 (불규칙성), 오염 (contamination), 칩 리프팅 (chip lifting) 과 같은 가장 일반적인 지표에 대한 효율적인 결함 검토 및 크기를 제공합니다. 적응적 결함 매핑 (adaptive defect mapping) 기능을 통해 사용자는 관심 결함을 쉽게 감지하고 격리할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 고성능 데이터 전송을 지원하므로, 데이터를 다른 시스템으로 신속하고 안전하게 전송할 수 있습니다. 이 툴은 또한 다양한 파일 유형 (file type) 을 지원하므로 다른 시스템 및 데이터 소스와 손쉽게 공동 작업을 수행할 수 있습니다. 고급 제품의 경우, 이 자산은 다양한 특수한 결함 매핑 (defect mapping) 기능과 고급 기능 분석 (advanced feature analysis) 을 지원하여 최고 수준의 품질 보증을 보장합니다. 6420 Surfscan (Surfscan) 은 성능과 품질을 위해 설계되었으며, 광범위한 반도체 장치와 패키지에 대한 강력한 테스트 및 시각화 기능을 제공합니다. 첨단 전자 부품의 품질 매개변수를 안전하고 효율적으로 확인하고, 고정밀도, 반복 가능한 측정을 수행하는 데 이상적인 솔루션입니다.
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