판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293777614

KLA/TENCOR 6420 Surfscan은 대용량 웨이퍼 프로세스를위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고속, 강력한 측정 기능을 제공하며 칩에서 웨이퍼 (wafer), 통계 분석 (statistical analysis) 에 이르는 전체 테스트 프로세스를 자동화합니다. KLA 6420 Surfscan은 KLA/TENCOR 시리즈 웨이퍼 테스트 시스템 중 최신 제품으로, 다양한 웨이퍼 유형에 대한 정확한 비파괴 검사 측정을 제공 할 수 있습니다. TENCOR 6420 Surfscan은 선형 배열 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 입자, 입자 관련 결함 등 프로세스 결함을 감지합니다. 웨이퍼 (wafer) 의 뒷면 (back surface) 에서 입자를 감지하기 위해 통합 된 후면 카메라가 장착되어 있습니다. 결함을 정확하게 감지하기 위해 6420은 AlphaTestTMTM 측정 알고리즘을 사용하여 입자와 주변 환경의 대비를 최적화하는 TENCOR 특허 광학 표면 도량형 기술을 사용합니다. 또한 6420 Surfscan은 샘플 속도 제어, 이미지 품질 제어, 입자 정점 등 다양한 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR 6420 Surfscan은 반도체 웨이퍼 처리에서 발생하는 대용량 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형을 수용하고, 빠르고, 정확하며, 3 차원 기능으로부터 상세한 치수 정보를 캡처하는 프로파일링 기능을 갖추고 있습니다. 이 피쳐는 높이, 곡률 등의 양식 특성을 측정하는 데 사용됩니다. 데이터가 정확한지 확인하기 위해 KLA 6420 서프 스캔 (Surfscan) 은 자체 통계 분석 프로세스를 사용하여 프로파일을 분석하여 웨이퍼 (wafer) 표면에서 정상 (normal) 또는 균일성 (out of unifority) 을 결정하는 기능을 제공합니다. TENCOR 6420 Surfscan의 프로브 장치는 검사 중 웨이퍼 손상 위험을 최소화합니다. 웨이퍼를 여러 번 스캔하여 전체 웨이퍼의 정확한 측정을 확인합니다. 또한, 이 기계는 다양한 결함 검토 (Review Review) 및 분류 (Classification) 기능을 제공하여 해당 분야의 결함을 신속하게 파악하고 분류할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 문제를 신속하게 파악하고 의사 결정을 신속하게 수행할 수 있습니다. 6420 Surfscan은 강력한 정확성과 신뢰성으로 인해 반도체 제조 실험실에서 필수품입니다. 빠른 측정, 빠른 결함 검토 및 분류 프로세스를 통해 KLA/TENCOR 6420 Surfscan은 프로덕션 웨이퍼 테스트에 가장 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 중 하나를 제공합니다.