판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293776063

KLA/TENCOR 6420 Surfscan은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 웨이퍼 표면 특성에 대한 고정밀 측정을 제공합니다. 반도체 및 포토 마스크 검사 응용프로그램에 대한 높은 수율과 탁월한 결함 감지를 가능하게 하는 비파괴 도량형 시스템입니다. 이 장치는 brightfield confocal scanning microscopy (CSM) 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼 표면을 3 차원으로 0.125 µm의 해상도까지 측정합니다. 맞춤형 x-y-z 스캐너는 웨이퍼 전체 영역 (일반적으로 8 ', 12' 또는 16 ') 에서 고속 스캔을 제공합니다. 스캐너의 광역학적 설계는 이미지 왜곡, 노이즈, 드리프트 (drift) 를 최소화하도록 최적화되어 정확하고 반복 가능한 측정에 이상적입니다. 컬러 CCD (Color CCD), 디지털 라인 어레이 센서 (Digital Line Array Sensor) 와 같은 고해상도 카메라 옵션이 장착되어 있습니다. KLA 6420 Surfscan은 전용 하드웨어 및 소프트웨어 모듈을 갖춘 강력한 컴퓨팅 아키텍처를 제공하는 고급 하이브리드 (hybrid) 디지털 신호 프로세서 머신을 사용합니다. 전용 하드웨어/소프트웨어 모듈을 통해 테스트 데이터를 신속하게 처리, 결함 감지, 결함 분포 측정 등을 수행할 수 있습니다. 이 도구는 또한 여러 가지 작동 모드를 갖추고 있으며, 특정 응용 프로그램에 여러 유형의 이미지 분석 (image analysis) 알고리즘을 활용할 수 있습니다. 데이터 획득은 유연하며, 높은 샘플 속도를 통해 서브 미크론 구조를 정확하게 특성화할 수 있습니다. 6420에는 3D 표면 렌더링 및 애니메이션 지형 영화와 같은 고급 시각 형상 기능도 포함되어 있습니다. 따라서 결함 및 불균일성의 형상과 크기를 명확하게 보여주는 시각화 (Visualization) 를 만들 수 있습니다. 이 자산에는 결함 식별 (Defect Identification) 및 분석 (Analysis) 을 위한 광범위한 강력한 소프트웨어 도구가 포함되어 있어 다용도 도량형 솔루션이 됩니다. TENCOR 6420 Surfscan은 정확도가 높은 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 강력하고, 안정적이며, 사용자 친화적인 솔루션을 제공합니다. 고급 CSM 기술, 고해상도 카메라 옵션, 디지털 신호 프로세서 (Digital Signal Processor) 를 통해 매우 상세한 웨이퍼 표면 특성화뿐만 아니라 빠르고 정확한 결함 감지 기능을 제공합니다. 또한 고급 시각화 (Advanced Visualization) 기능과 다양한 소프트웨어 툴을 갖추고 있어 종합적인 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 장비로 사용할 수 있습니다.