판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767212
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 웨이퍼 표면을 철저하고 정확하게 분석 할 수 있도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 코어에서 고급 레이저 스캐닝 (Laser Scanning) 기술을 사용하며, 여러 가지 강력한 기능을 통해 다양한 기판에 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. 이 장치의 중심에는 마이크로 크기의 레이저 스캐닝 간섭계가 있습니다. 이 간섭계 (interferometer) 는 각 서피스 피쳐의 위치를 감지하고 매핑하는 이벤트, 웨이퍼로부터 서피스 지형 데이터를 수집합니다. 이 데이터는 고해상도 이미징 머신을 통해 수집되며, 추가 분석을 위해 웨이퍼 (wafer) 의 3D 이미지 형태로 표시됩니다. 각 이미지는 최대 800만 픽셀을 지원하며, 단색, 색상 또는 회색 음영으로 표시할 수 있습니다. 이 기본 이미징 기능 외에도 KLA 6420 Surfscan은 Cross Section 뷰, 기능 크기 계산, 전압 변환, 오버레이 소벨, trowbridge, zkern 및 slopey 필터링 등 다양한 분석 기능을 제공합니다. 이 도구는 최대 8 개의 서로 다른 피쳐 측정을 지원하므로 다양한 크기, 형태, 방향 (orientation) 의 기능을 종합적으로 평가할 수 있습니다. TENCOR 6420 Surfscan은 IC 칩 및 MEMS 구성 요소를 포함한 모든 유형의 웨이퍼에 대한 비접촉 측정도 지원합니다. 사용이 간편한 PROMETRIX 6420 Surfscan 은 간단한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 작동하므로, 엔지니어와 사용자가 쉽게 결과를 찾아 분석할 수 있습니다. 또한 이 자산에는 고급 소프트웨어 패키지가 함께 제공되어 데이터 정확성을 높이고 분석 속도를 높일 수 있습니다 (영문). 이 모든 데이터는 모델의 내부 메모리에 로컬로 저장되거나, 사용 가능한 USB 포트를 통해 네트워크를 통해 전송될 수 있습니다. (예: "% 1" 참조) 전체적으로, 6420 Surfscan은 광범위한 분석 및 측정 기능을 제공하는 고급 장비 (advanced equips) 로, 광범위한 실험실 및 연구 어플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 다양한 기능과 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 웨이퍼 (Wafer) 분석의 속도와 정확도를 높일 수 있으므로 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.
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