판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767210

KLA/TENCOR 6420 Surfscan은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 Wafer Testing and Metrology Equipment입니다. 웨이퍼 (wafer) 의 광학 및 전기적 특성을 테스트하고 측정할 수 있으며, 분석에 정확하고 반복 가능한 데이터를 제공 할 수 있습니다. SurfScan 6420에는 WaferOptics ™ 레이저 광학 스캐닝 스테이지와 Scanpath ™ 스캐닝 컨트롤러의 두 가지 주요 구성 요소가 장착되어 있습니다. WaferOptics (tm) 는 표면 토폴로지 데이터를 정확하고 반복적으로 측정하도록 설계된 고속, 안정적인, 선형 스캐닝 단계입니다. 인코더 해상도는 0.15 미크론이며 축당 ± 0.01 미크론의 반복 가능성이 있습니다. Scanpath (tm) 스캔 컨트롤러에는 서피스 프로파일 데이터를 해석하고 의미 있는 지표로 변환하는 전용 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 비균일성 맵, 성능 맵, 오버레이 결과, 기타 웨이퍼 서피스 데이터 등의 메트릭을 생성할 수 있습니다. 이 장치에는 저전압 신호의 확장 범위를 제공하는 줌 광학 (Zoom Optics) ™ 모듈 (Zoom Optics ™ module) 과 같은 여러 추가 구성 요소도 포함되어 있습니다. 원래 KLA 193nm 및 248nm 시스템과 함께 사용하도록 개발 된 고급 OPC 머신도 포함되어 있으며, 정확한 오버레이 교정 및 기능 정렬이 가능합니다. 이 도구는 "헤드 인 핸드 (head-in-hand)" 모드로 작동합니다. 즉, 웨이퍼는 자산에 마운트된 상태에서 측정이 가능하며, 사용자가 포지셔닝 또는 시간 손실없이 동일한 웨이퍼에서 여러 번 측정 할 수 있습니다. 하드웨어 및 소프트웨어 측면에서 KLA 6420 Surfscan에는 펜티엄 4 프로세서, Windows 7 운영 모델, 듀얼 헤드 그래픽 카드, 16GB RAM 및 32GB 하드 드라이브가 장착되어 있습니다. 이 장치에는 원격 액세스를 위한 이더넷 연결과 다른 TENCOR 시스템과의 통신도 포함되어 있습니다. 이 장치는 다양한 유형의 고객 소프트웨어 및 인터페이스 (분석 및 자동화) 와 호환됩니다. 마지막으로 TENCOR 6420 Surfscan은 정량적 결함 감지 및 오버레이 도량형이 가능합니다. 이 장비는 첨단 결함 도량형 알고리즘 (Advanced Defect Metrology Algorithm) 과 광학 이미징 (Optical Imaging) 을 활용하여 더 큰 감도와 정확도로 결함을 감지하고 분류 할 수 있습니다. 즉, 기존의 이미징 (imaging) 및 웨이퍼 (wafer) 테스트 시스템보다 더 많은 정보를 사용자에게 제공하므로 요점에 영향을 줄 수 있는 보다 효율적이고 효과적인 의사 결정을 내릴 수 있습니다.