판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767201

KLA/TENCOR 6420은 반도체 장치 기능을 빠르고 정확하게 측정하도록 설계된 업계 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 옵틱 (optic), 디지털 이미징 (digital imaging), 터치스크린 (touchscreen) 기술을 결합하여 사용자에게 웨이퍼 테스트 및 분석을 위한 종합적인 플랫폼을 제공합니다. 클라 6420 (KLA 6420) 의 강력한 광학으로 웨이퍼 표면 기능의 고해상도 이미지를 캡처하고 측정 및 고장 분석 기능을 지원합니다. 웨이퍼는 +/-2um (micrometers) 이상의 공차로 측정 할 수 있으며, 장치 성능을 결정하는 데 우수한 데이터를 가진 연산자를 제공합니다. TENCOR 6420의 사용자 인터페이스는 19 "터치스크린 디스플레이 (Touchscreen Display) 를 기반으로 하며, 이 디스플레이는 컴퓨터 작동을 위한 직관적인 메뉴 구동 장치를 제공합니다. 이 도구는 표준 컨트롤 외에도 사용자 정의 가능한 사용자 메뉴와 드래그 앤 드롭 (drag-and-drop) 이미지 비교 기능을 제공합니다. 6420은 강력한 온보드 이미징 (on board imaging) 을 통해 웨이퍼 표면에서 마이크로 미터 하부 결함을 감지하고 그에 따라 수리를 용이하게합니다. 이 장치에는 2um/pixel 이하의 선형 해상도로 웨이퍼를 이미징 할 수있는 고출력 줌 (high power zoom) 과 고해상도가 모두 포함되어 있습니다. 특정 장치 기능에 대한 고급 분석을 위해, KLA/TENCOR 6420은 자동 이미지 비교 기능도 통합합니다. 이 크리티컬 피쳐를 사용하면 미세한 변경 또는 임계 치수의 측정 (measuration) 에 대해 이미지를 직접 비교할 수 있으므로 연산자의 정확도가 높아집니다. 또한 이 이미지 비교 기능 (image comparison feature) 을 통해 운영 환경의 수명에 대한 디바이스 구성 진행 상황을 손쉽게 검토할 수 있으며, 성능에 영향을 줄 수 있는 중요한 변경 사항을 파악할 수 있습니다. 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업의 경우, KLA 6420에는 통합 입자 분석 패키지가 포함되어 있으며, 이를 통해 연산자는 눈에 띄지 않는 정확도로 웨이퍼에서 오염 물질을 감지하고 정량화 할 수 있습니다. 이 강력한 기능은 상세하고 정확한 입자 데이터를 제공합니다. 이 데이터를 사용하여 프로세스 청소 (process cleanliness) 를 확인하고, 패블롯 수율을 제어하며, 제품 품질을 모니터링할 수 있습니다. 또한 TENCOR 6420에는 자동 웨이퍼 스테이지 (Wafer Stage) 및 자동 비전 시스템 (Automated Vision System) 등 다양한 옵션과 액세서리가 제공됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 자동 웨이퍼 로딩, 위치 지정 및 방향을 허용하며, 시력 에셋은 실시간으로 웨이퍼의 서피스 피쳐를 검사하는 데 사용할 수 있습니다. 6420은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 포괄적 인 플랫폼을 제공하며, 사용자에게 최첨단 이미지 분석 및 입자 측정 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR 6420은 직관적인 사용자 인터페이스, 고해상도 이미징 (high resolution imaging), 획기적인 도량형 도구를 통해 고급 웨이퍼 테스트 및 측정을 위한 강력한 도구를 제공합니다.