판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293766824

KLA/TENCOR 6420 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 장치가 필요한 사양을 충족하도록 돕는 세계 최고의 생산 라인 마이크로 검사 도구입니다. 매우 정확하고 자동화된 인라인 측정 및 검사, 고속 패턴 인식, 매개변수 스크리닝을위한 전기 도량형, 프로세스 분석을위한 결함 격리 및 분류를 제공합니다. KLA 6420 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 반도체 제조업체가 제조 프로세스를 테스트하고 모니터링하는 방식에 혁명을 일으켰습니다. 이 장치는 검사 (inspection) 및 도량형 (metrology) 기능을 결합하여 각 장치의 이미지를 검사 지점에서 생성하거나 피드백을 위한 도량형으로 생성합니다. photomask, 박막 측정, 레이어-레이어 검사, 결함 분류, etch 프로세스 모니터링, 오버레이, 메모리 결함 분석 등 다양한 프로세스 기술을 지원합니다. 자동화 서브시스템 (Automation Subsystem) 은 각 로트의 올바른 정렬 및 식별을 보장하는 반면, 머신은 전체 검사 프로세스를 자동화하는 통합 웨이퍼 레벨 (Wafer Level) 테스트를 제공합니다. TENCOR 6420 (TENCOR 6420) 은 이전에 눈에 띄지 않았던 미묘한 결함을 감지하여 생산량을 늘리고 전반적인 제조비 (Manufacturing Cost) 를 절감하여 높은 품질의 제품과 더 높은 고객 만족도를 제공합니다. 정밀도 측정과 높은 정확성으로 인해 장치 성능이 증가하여 수율 증가로 인해 경제 성능이 향상되었습니다 (영문). 이 도구는 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 장치 제작자가 테스트 (test) 와 계기 (instrument) 설정을 신속하게 구성하고 사용자 정의할 수 있으며, 지루한 설정과 교정 시간을 없앨 수 있습니다. 실제로 근접 측정을 하는 고속 기능은 기본 결함 메커니즘을 식별하는 자세한 분석을 제공하며, 에치 프로세스 제어, 레이어 투 레이어 검사, 복잡한 박막 측정, 레이어 스택 결함 분석, 고급 도량형에 대한 포괄적 인 정보를 제공 할 수 있습니다. 6420 에 제공되는 고급 이미지 분석 (advanced image analysis) 기술은 모든 크기의 기능 (예상 크기의 10% 일 수도 있음) 을 인식하여 허위 통화를 줄이는 데 도움이됩니다. 자산의 다용도, 다단계 에지 종동체 알고리즘 덕분에 라인 에지 일관성 (Line Edge Consistency) 도 달성됩니다. 이 모든 것은 생산성을 높이고, 비용을 절감하고, 생산성을 전반적으로 향상시키는, 신뢰성이 높은 모델에 기여합니다.