판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293758831

ID: 293758831
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1996
Non-patterned surface inspection system, 4"-8" Defect sensitivity: 0.12 micron at 95% capture Haze sensitivity: 0.02 PPM Wavelength: 488 nm Argon laser: 30 mw PC Board Blue laser Spot size: 90 µm Scan frequency: 170 Hz Scan pitch: 10, 20, 40 µm Throughput: 120/6" WPH Single puck handling from single cassette or platform XY Coordinates CD ROM Writer CIM: GEM / SECS Operating system: Windows 98 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Equipment는 실리콘 웨이퍼에서 집적 회로 (IC) 를 최적화하고 테스트하는 작업을 자동화하는 완전 자동 도구입니다. KLA 6420 은 많은 양의 칩을 빠르고, 정확하게 테스트할 수 있는 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수 있는 방법을 제공합니다. TENCOR 6420 시스템은 고급 광학 및 계산 시스템을 사용하여 대형 웨이퍼에서 테스트 칩의 크기, 모양 및 방향의 작은 변화를 측정합니다. "뉴우요오크 '는 여러 가지" 웨이퍼' 형태 의 도량형 과 "테스트 '를 할 수 있도록" 프로그램' 에 있어서 용도 가 다양 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 칩에 대한 정확하고 효율적인 평가를 위해 빠르고, 정확하며, 다용도 웨퍼 (wafer) 구매를 제공하며, 빠른 처리량과 회전 시간을 제공합니다. 이 장치는 세 가지 주요 구성 요소 (광 헤드, 스테이지 및 컨트롤러) 로 구성됩니다. 광학 헤드에는 이미징에 사용되는 카메라, 렌즈 및 LED (Light Emitting Diode) 와 같은 다양한 광학 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이러한 컴포넌트의 도움으로 기계는 크기, 모양, 방향 (orientation) 과 같은 테스트 칩의 특정 피쳐를 정확하게 측정합니다. 스테이지는 또 다른 중요한 구성 요소로, 웨이퍼 (wafer) 에 있는 테스트 칩의 정확하고 정확한 위치를 담당합니다. 그것은 x, y 및 z축에서 웨이퍼를 정확하고 빠르게 움직이는 정밀 가이드웨이 및 액츄에이터로 구성됩니다. 컨트롤러는 도구 뒤에 있는 두뇌입니다. Stage, Optical Head 및 Data Acquisition 소프트웨어의 이동을 제어합니다. 이 제품은 지능적이고 효율적인 강력한 소프트웨어 (software) 로, 방대한 수의 테스트 칩을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 6420 툴은 또한 특정 응용 프로그램에 맞게 특별히 구성된 다양한 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 이러한 패키지는 전체 테스트 프로세스의 정확성과 처리량을 향상시키도록 설계되었습니다. 또한 이 소프트웨어 패키지를 통해 데이터 분석, 통계 프로세스 제어 (statistical process control), 테스트 프로세스를 최적화할 수 있는 다양한 기능을 활용할 수 있습니다. KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Asset을 사용하면 대량의 칩을 빠르고 정확하게 테스트할 수 있습니다. 반도체· 전자제품 제조업체에게 필수적인 도구다. 제품을 생산하기 위해서는 고품질 칩이 필요하다. 테스트 프로세스를 자동화함으로써, 기업들은 운영 처리량을 높이고, 테스트 비용을 절감하고, 고품질 (High Quality) 최종 제품을 보장할 수 있습니다.
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