판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293754476

KLA/TENCOR 6420은 효율적인 나노미터 규모 결함 분석, 특성 및 수리를 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 최대 200mm 의 웨이퍼로 결함 있는 입자를 정확하게 식별, 현지화, 분리하는 고급 하드웨어/소프트웨어 (advanced hardware and software) 기술 제품군을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 일반적으로 호스트 시스템, 데이터 획득 하드웨어/소프트웨어, 비전 시스템, 결함 분석/수리 소프트웨어 등 여러 하위 시스템으로 구성됩니다. 호스트 머신은 최소 512MB RAM의 Pentium급 PC일 수 있습니다. 데이터 수집 하드웨어와 소프트웨어는 테스트 결과를 캡처하며, 고급 결함 사이징 (sizing), 분석 (analysis) 및 격리 기능을 제공합니다. 시력 장치 (vision unit) 는 각 웨이퍼의 사진 이미지를 자동으로 캡처하여 감지된 결함에 대한 정확한 세부 사항을 제공합니다. 결함 분석 및 수리 소프트웨어는 다양한 도량형 기술을 사용하여 웨이퍼의 결함을 자동으로 감지, 크기 조정, 현지화, 분리합니다. KLA 6420 기계의 신뢰성 및 정확성은 고급 광학 메커니즘에 의해 보장됩니다. 여기에는 자동 초점 (automated focus) 및 비접촉 검사 (non-contact inspection) 가 포함되어 있어 정밀한 정렬 및 입자 크기를 위해 광학을 조정합니다. 또한, 이 도구의 광학에는 웨이퍼의 3 차원 이미지를 만들기 위해 2 개의 디지털 자동 초점 카메라가 장착되어 있습니다. TENCOR 6420 자산의 결함 분석 및 수리 (Defect analysis and repair) 기능은 플랫폼에서 웨이퍼의 내부 이미지를 가져와 결함 격리, 분석 및 특성화 작업을 자동으로 수행합니다. 이 모델에는 정확한 결함 식별, 로컬라이제이션, 격리를 보장하는 고급 계산 알고리즘도 포함되어 있습니다. 6420 장비에는 레시피 관리 시스템, 결함 추적 장치, 결함 분류, 정량적 분석 기능, 종합적인 통계 분석, 파일 아카이브 기능 등 포괄적인 유틸리티도 포함되어 있습니다. 또한, 이 시스템은 테스트 작업을 원격 관리하기 위한 고급 작업 관리 (advanced job management) 도구를 갖추고 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 6420은 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 매우 정확하고 정확합니다. 고급 광학, 비전 시스템, 결함 분석, 수리 기능 등이 결합된 통합 하드웨어/소프트웨어 제품군은 효율적이고 효율적인 나노미터 규모 결함 분석 (nanometer scale defect analysis) 및 특성화에 이상적입니다.