판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293742067

KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology 장비는 반도체 웨이퍼를 자동으로 검사 할 수있는 다기능 소프트웨어 및 하드웨어 기반 플랫폼 세트입니다. 이를 통해 제조업체는 제조 과정에서 제품의 품질 (Quality) 과 무결성 (Integrity) 을 보장하고 전체 수익률을 향상시킬 수 있습니다. KLA 6420 시스템은 품질 제어를 보장하는 여러 요소로 구성되어 있습니다. 이 장치에는 4D 3001 웨이퍼 측정 스테이션 (Wafer Measurement Station) 이 포함되어 있으며 X 플라즈마 검사를 사용하여 차원의 결함 및 오염 물질을 식별합니다. 이 스테이션은 또한 잘못된 정렬 문제를 보고하기 위해 오버레이 측정을 만들기 위해 웨이퍼 패턴 정렬 (wafer pattern alignment) 을 제공합니다. 이 기계에는 또한 NSOM (Near-Field Scanning Optical Microscopy) 을 사용하여 웨이퍼 지형을 검사하는 4D 3001 검사 스테이션이 포함되어 있습니다. 이 스테이션에는 8 개의 내부 제어 조명 모드와 여러 개의 센서가 있어 결함을 식별하는 데 도움이됩니다. 4D 3101 매핑 도구 (Mapping Tool) 는 매크로 결함 검토를 사용하여 자산 장애를 일으킬 수있는 오염에 대한 웨이퍼를 평가합니다. CDS 3001 웨이퍼 클리닝 모델은 입자 폭격 기술을 사용하여 입자의 웨이퍼를 청소합니다. Cleaner Checkstation은 4 점 측정 프로그램을 사용하여 웨이퍼 청소 프로세스 전, 중, 후에 오염 수준을 확인합니다. TENCOR 6420은 소프트웨어 및 하드웨어 기반 플랫폼 외에도 Quality Manager 소프트웨어를 사용합니다. 품질 관리자 (Quality Manager) 는 제조업체가 제조 프로세스를 작성, 구현 및 모니터링할 수 있도록 하는 프로세스 제어 도구입니다. 이 소프트웨어를 사용하면 변동성을 줄이고 웨이퍼 기능을 향상시킬 수 있습니다. 전체적으로, 6420 개는 반도체 제조업 (semiconductor manufacturing industry) 에서 테스트 및 도량형을위한 완벽한 솔루션을 제공하는 종합 장비입니다. 따라서 품질 관리 (Quality Control) 프로토콜을 만들고, 웨이퍼를 측정 및 분석하며, 오염을 줄이기 위한 클린 웨이퍼를 만들 수 있습니다. 이 시스템의 도움으로 제조업체는 제품 수익률을 높이고, 비용과 시간을 줄이고, 수익성을 높일 수 있습니다 (영문).